[发明专利]温度调节单元在审
申请号: | 202080037185.7 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN113853513A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 川村隆太郎;田口研良 | 申请(专利权)人: | 东华隆株式会社 |
主分类号: | G01K7/18 | 分类号: | G01K7/18;H01L21/683 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 武玉琴;谢清萍 |
地址: | 日本兵库*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温度 调节 单元 | ||
1.一种温度调节单元,其中,
所述温度调节单元包括:
温度调节单元本体;
温度调节部,其设置在所述温度调节单元本体的内部,对温度调节对象所在侧的该温度调节单元本体的表面温度进行升降温;以及
薄膜测温电阻部,其形成在所述温度调节单元本体的内部、温度调节对象所在侧的面内的一定范围内,并且设置在比所述温度调节部更靠近温度调节对象的一侧,由热喷涂皮膜形成。
2.根据权利要求1所述的温度调节单元,其中,
所述薄膜测温电阻部形成为在同一面上具有折叠部的带状图案。
3.根据权利要求1或2所述的温度调节单元,其中,
所述薄膜测温电阻部包含含有Al的金属或合金。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的温度调节单元,其中,
所述温度调节部由热喷涂皮膜形成,该热喷涂皮膜形成为在同一面上具有折叠部的带状图案。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的温度调节单元,其中,
所述温度调节部包括多个结构部,并且该多个结构部各自的一部分构成供电端子部,
所述薄膜测温电阻部包括多个结构部,并且该多个结构部各自的一部分构成电阻值测定端子部。
6.根据权利要求5所述的温度调节单元,其中,
所述温度调节部的各结构部和所述薄膜测温电阻部的各结构部配置成在所述温度调节单元的厚度方向上彼此对应。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的温度调节单元,其中,
所述温度调节单元本体具有基材部和形成在该基材部的表面上的绝缘层,所述薄膜测温电阻部设置在该绝缘层内。
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