[发明专利]基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，其特征在于，具备：

传感器，该传感器设置于基板处理装置，检测对象基板处理中的对象物理量；

预测部，该预测部将通过所述传感器检测的物理量的时间序列数据或以时间对该物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据输入完成学习的机器学习模型，从而输出作为结束研磨的时刻的研磨终点时刻；

挑选部，该挑选部依据以时间对通过所述传感器检测的电流值的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据，来挑选该电流值的时间序列数据；及

学习部，该学习部通过使用将通过所述挑选部挑选的电流值的时间序列数据作为输入，并将研磨终点时刻作为输出的学习用的数据集进行机器学习，从而生成所述完成学习的机器学习模型，

所述机器学习模型是如下模型：使用将过去的所述物理量的时间序列数据或以时间对该过去的物理量的时间序列数据进行微分而得到的时间序列数据作为输入、并将过去的研磨终点时刻作为输出的学习用的数据集进行机器学习，

所述对象物理量是所述基板处理装置的工作台旋转马达的电流值、所述基板处理装置的顶环旋转马达的电流值、或所述基板处理装置的工作台的转矩。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，进一步具备：

判定部，该判定部比较通过所述传感器检测的物理量的时间序列数据与过去的时间序列数据，判定该物理量的时间序列变化有无异常；

决定部，在通过所述判定部判定为有异常时，该决定部再次决定处理条件；及

更新控制部，该更新控制部控制成以所述决定部所决定的处理条件进行更新。

3.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，

所述挑选部在以时间进行微分而得到的所述时间序列数据中检测不出满足设定基准的极小点或极大点时，通过排除该微分前的电流值的时间序列数据，来挑选所述电流值的时间序列数据。

4.一种基板处理系统，其特征在于，具备：

至少一个传感器，该至少一个传感器设置于基板处理装置，检测对象基板处理中的对象物理量；

第一存储体，该第一存储体对基板的批次，与该基板处理中的过去的物理量的时间序列数据的至少一个相关连而进行存储；

提取部，该提取部参照所述第一存储体，提取对应于处理中的对象基板的批次的过去的物理量的时间序列数据；

是否需要维修判定部，该是否需要维修判定部比较通过所述传感器检测的发生异常时的物理量的时间序列数据与通过所述提取部提取的过去的物理量的时间序列数据，判定是否需要维修；

第二存储体，该第二存储体将至少一个以上的物理量有无异常的组合与异常原因及/或异常的解决法相关连而进行存储；及

原因分析部，在通过所述是否需要维修判定部判定为需要维修时，该原因分析部参照所述第二存储体，输出与物理量有无异常的组合对应的异常原因及/或异常的解决法。