[发明专利]用于平坦光学装置的孔

说明书

本文描述的多个实施方式涉及用于制造光学装置的方法。本文描述的方法使得能够在基板上制造一个或多个光学装置，该基板具有围绕每个光学装置的孔，光学装置具有多个结构。本文描述的方法的一个实施方式包括：在基板的表面上设置孔材料层，在孔和基板的表面之上设置结构材料层，在孔和结构材料层之上设置硬模，在硬模之上设置图案化的光刻胶，图案化的光刻胶界定暴露的硬模部分，去除暴露的硬模部分以暴露结构材料层的结构部分，并且去除结构部分以在基板的表面的区域之上的孔之间形成多个结构。

背景

领域

本公开内容的多个实施方式一般涉及光学装置。更具体地，本文描述的多个实施方式提供了一个或多个光学装置的制造，该一个或多个光学装置具有围绕每个光学装置的孔(aperture)。

背景技术

光学系统可用于通过结构的空间上变化的结构参数(例如，形状、尺寸、定向)来操纵光的传播。光学装置的一个范例是平坦光学装置。可见光谱和近红外光谱中的平坦光学装置可能需要透明的基板，这些基板具有诸如纳米结构的结构，该结构设置在基板上。然而，作为新兴技术，处理透明基板以形成光学装置是既复杂又具挑战性的。举例来说，入射光学系统的一个或多个光学装置中的一个光学装置的束可在直径上大于所需光学装置或不与所需光学装置完全对准。来自在直径上大于光学装置的入射束的杂散光可能会降低光学系统的功能和效率，并且可能与基板和不需要的相邻光学装置发生光学交互作用。

因此，本领域需要能够在基板上制造一个或多个光学装置的方法，该基板具有围绕每个光学装置的孔。

发明内容

在一个实施方式中，提供了一种方法。该方法包括：在基板的表面上设置孔材料层，图案化孔材料层，以在与以下中的一个相对应的基板的表面的区域之上形成孔：由相邻的光学装置界定的第一空间和由相邻的光学装置中的一个光学装置和基板的外周界定的第二空间，在孔和基板的表面之上设置结构材料层，在孔和结构材料层之上设置硬模，将图案化的光刻胶设置在硬模之上，图案化的光刻胶界定暴露的硬模部分，去除这些暴露的硬模部分以暴露结构材料层的结构部分，和去除结构部分以在基板的表面的区域之上的孔之间形成多个结构。

在另一个实施方式中，提供了一种方法。该方法包括：在基板的表面上设置结构材料层，在结构材料层之上设置孔材料层，图案化孔材料层，以在与以下中的一个相对应的基板的表面的区域之上形成孔：由相邻的光学装置界定的第一空间，和由相邻的光学装置中的一个光学装置和基板的外周界定的第二空间，在孔和结构材料层之上设置有机平坦化层(OPL)，将图案化的光刻胶设置在OPL之上，图案化的光刻胶界定暴露的OPL部分，去除暴露的OPL部分以暴露结构材料层的结构部分，和去除结构部分以在基板的表面的区域之上的孔之间形成多个结构。

在又另一个实施方式中，提供了一种方法。该方法包括：在基板的表面上设置结构材料层，结构材料层设置在与以下中的一个相对应的基板的表面的区域之间：由相邻的光学装置界定的第一空间，和由相邻的光学装置中的一个光学装置和基板的外周界定的第二空间，在结构材料层之上设置硬模，将图案化的光刻胶设置在硬模之上，图案化的光刻胶界定暴露的硬模部分，去除暴露的硬模部分以暴露结构材料层的结构部分，去除结构部分以在基板的表面的区域之间形成多个结构，和在区域之上形成孔。

附图说明

因此，为了能详细理解本公开内容的上述特征的方式，可参照多个实施方式(其中一些实施方式示出在附图中)来得到简要概述于上的本公开内容的更具体的描述。然而，应当注意，附图仅示出本公开内容的多个典型实施方式，并且因此不应将附图视为本公开内容范围的限制，因为本公开内容可承认其他多个等效的实施方式。

图1A是根据一个实施方式的基板的俯视图，基板具有一个或多个光学装置，一个或多个光学装置形成在基板上。

图1B是根据一个实施方式的光学装置中的一个光学装置的截面图。