[发明专利]pH调节水制造装置在审
| 申请号： | 202080042415.9 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN113939357A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 饭野秀章 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | B01D61/00 | 分类号： | B01D61/00;B01D61/58;B01F23/20;B01F21/00;B01F25/50;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/66;C02F1/70 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ph 调节 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种pH调节水制造装置，其中，
在超纯水供给线中依次具备铂族金属负载树脂柱和膜式脱气装置，
在所述铂族金属负载树脂柱与所述膜式脱气装置之间设置有注入pH调节剂的pH调节剂注入装置，
所述pH调节剂为氨、盐酸、柠檬酸或氢氟酸。
2.如权利要求1所述的pH调节水制造装置，其中，
所述膜式脱气装置为吸入非活性气体的方式。
3.如权利要求1或2所述的pH调节水制造装置，其中，
在所述膜式脱气装置的后段具备非活性气体溶解装置。
4.如权利要求3所述的pH调节水制造装置，其中，
具备将所述非活性气体的浓度保持在15ppm以上的机构。
5.如权利要求1～4中任一项所述的pH调节水制造装置，其中，
在所述膜式脱气装置的后段具备pH测量机构。
6.如权利要求3～5中任一项所述的pH调节水制造装置，其中，
在所述膜式脱气装置的后段具备气体浓度测定机构。
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