[发明专利]前驱体供应柜

权利要求书

1.一种用于容纳一个或多个前驱体容器(80)的前驱体供应柜(2)，所述前驱体供应柜(2)具有限定内部柜空间(1)的柜壁(3、4、6、7、8、9)，其特征在于，所述前驱体供应柜(2)包括：

-通气排出连接件(20、21、22)，所述通气排出连接件(20、21、22)布置成将通气气体从所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)排出；

-一个或多个通气入口连接件(10、11)，所述一个或多个通气入口连接件(10、11)布置成将通气气体提供到所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)中；

-用于容纳前驱体容器(80)的两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)，所述两个或更多个气密式前驱体供应腔室(30)布置在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部，使得所述前驱体供应柜(2)的包围所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)的所述内部柜空间(1)是通气的，两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成彼此间隔开，使得在所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)之间设置一个或多个流动间隙(A、B)。

2.根据权利要求1所述的前驱体供应柜(2)，其特征在于，所述前驱体供应柜(2)包括两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)，并且：

-所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)中的至少两者在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成彼此相邻并且彼此相距第一距离，使得在相邻的所述气密式前驱体供应腔室(30)之间形成第一流动间隙(A)；或者

-所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)中的至少两者在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成一个位于另一个的顶部上方并且彼此相距第二距离，使得在相邻的所述气密式前驱体供应腔室(30)之间形成第二流动间隙(B)；或者

-所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)中的至少两者在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成彼此相邻并且彼此相距第一距离，使得在相邻的所述气密式前驱体供应腔室(30)之间形成第一流动间隙(A)，并且所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)中的至少两者在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成一个位于另一个的顶部上方并且彼此相距第二距离，使得在相邻的所述气密式前驱体供应腔室(30)之间形成第二流动间隙(B)。

3.根据权利要求1所述的前驱体供应柜(2)，其特征在于：

-所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)在所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)内部布置成与所述柜壁(3、4、6、7、8、9)间隔开，使得在所述两个或更多个单独的气密式前驱体供应腔室(30)和所述柜壁(3、4、6、7、8、9)之间设置流动间隙(C、D、E、F、G、H)。

4.根据权利要求1所述的前驱体供应柜(2)，其特征在于，所述通气排出连接件(20、21、22)包括：

-通气出口(20、21)，所述通气出口(20、21)设置至所述柜壁(3、4、6、7、8、9)并且与所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)相通；以及

-抽吸装置(22)，所述抽吸装置(22)连接到所述通气出口(20、21)并且布置成将通气气体经由所述通气出口(20)从所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)排出。

5.根据权利要求4所述的前驱体供应柜(2)，其特征在于，所述前驱体供应柜(2)包括顶部柜壁(6)，并且所述通气出口(20、21)设置至所述顶部柜壁(6)。

6.根据权利要求1所述的前驱体供应柜(2)，其特征在于，所述一个或多个通气入口连接件(10、11)包括通气入口(10)，所述通气入口(10)与所述前驱体供应柜(2)的所述内部柜空间(1)相通并且布置成将通气气体提供到所述前驱体供应柜(100)的所述内部柜空间(1)中。