[发明专利]造形装置在审

专利信息
申请号: 202080047145.0 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN114096364A 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 石川元英 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: B22F12/00 分类号: B22F12/00;B22F12/41;B22F12/50;B22F12/90;B33Y30/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 杨丹;沈珍珠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 造形 装置
【权利要求书】:

1.一种造形装置,其在支承面上造形出造形物,其包括:

材料供给装置,向上述支承面上供给造形材料;

射束照射装置,对上述支承面上的上述造形材料照射能量束;

支承构件,将包括上述支承面的支承面构件加以支承;

基准标记,被上述能量束照射;以及

移动装置,相对于上述射束照射装置来移动上述基准标记。

2.根据权利要求1所述的造形装置,其中,

上述移动装置移动上述支承构件。

3.根据权利要求1或2所述的造形装置,其中,

上述射束照射装置包括多个射束照射单元,其沿着将上述支承构件的移动方向横切的方向而配置。

4.根据权利要求3所述的造形装置,其中,

包括多个上述基准标记。

5.根据权利要求4所述的造形装置,其中,

上述多个射束照射单元的数量、与上述多个基准标记的数量相等。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的造形装置,其中,

包括多个反射成分检测器,其检测由被来自上述射束照射单元的上述能量束照射的上述基准标记而来的反射成分。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的造形装置,其中,

包括反射成分检测器,其检测由被来自上述射束照射装置的上述能量束照射的上述基准标记而来的反射成分;并且

上述反射成分检测器可收纳于收纳位置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的造形装置,其中,

上述射束照射装置照射电子束,并且

上述反射成分检测器检测通过上述电子束对上述基准标记的照射而产生的反射电子。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的造形装置,其中,

基于由上述基准标记而来的反射成分,来控制上述射束照射装置。

10.一种造形装置,其在支承面上造形出造形物,其包括:

材料供给装置,向上述支承面上供给造形材料;

射束照射装置,对上述支承面上的上述造形材料照射能量束;

支承构件,将包括上述支承面的支承面构件加以支承;

射束监测器,检测上述能量束;以及

移动装置,相对于上述射束照射装置来移动上述射束监测器。

11.根据权利要求10所述的造形装置,其中,

上述移动装置移动上述支承构件。

12.根据权利要求10或11所述的造形装置,其中,

上述射束照射装置包括多个射束照射单元,其沿着将上述支承构件的移动方向横切的方向而配置。

13.根据权利要求12所述的造形装置,其中,

包括多个上述射束监测器。

14.根据权利要求13所述的造形装置,其中,

上述多个射束照射单元的数量、与上述多个射束监测器的数量相等。

15.根据权利要求10至14中任一项所述的造形装置,其中,

上述射束照射装置照射电子束,并且

上述射束监测器检测上述电子束的射束电流。

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