[发明专利]压电振子以及具备该压电振子的振荡器

说明书

本发明提供一种压电振子以及具备该压电振子的振荡器。压电振子(100)具备基座部件(30)、盖部件(40)、以及设置在基座部件(30)与盖部件(40)之间的层叠结构体(101)，层叠结构体(101)具备压电振动元件(10)、半导体层(21)以及一对测定电极(24c、24d)，压电振动元件(10)具备：具有对置的一对主面的压电体层(11)和分别设置于压电体层(11)的一对主面以便隔着压电体层(11)相互对置的一对激励电极(14a、14b)，半导体层(21)层叠于压电振动元件(10)的压电体层(11)的任意一个主面侧，一对测定电极(24c、24d)设置于半导体层(21)，一对测定电极(24c、24d)构成为经由半导体层(21)测定基于压电振动元件(10)的温度的信号。

技术领域

本发明涉及压电振子以及具备该压电振子的振荡器。

背景技术

在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，压电振子用于定时设备、传感器、振荡器等用途。压电振子包括压电振动元件和保持器，其中，上述压电振动元件具有利用压电效应将电振动转换为机械振动的机械振动部，上述保持器收纳该压电振动元件。由于压电振动元件的频率基于频率温度特性而变化，所以在压电振子中为了实现高精度公差，需要测定压电振动元件的温度。

例如，在专利文献1中公开了一种压电振荡器，该压电振荡器具备压电振动元件、搭载有压电振动元件的基座部件、以及与基座部件接合并气密密封压电振动元件的盖部件，且在基座部件或者盖部件的表面配置有电路图案以及温度检测部。

专利文献1：日本特开2009－27477号公报

然而，在专利文献1所记载的压电振荡器中，由于在温度检测部与压电振动元件之间存在空隙而限制热传导，所以在压电振动元件的温度与由温度检测部测定的温度之间存在差距。像这样由于不能获取正确的温度信息所以不能进行正确的温度补偿，而产生频率精度劣化这样的问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，本发明的目的在于提供一种提高温度补偿精度的压电振子以及具备该压电振子的振荡器。

本发明的一个方式的压电振子具备基座部件、盖部件、以及设置在基座部件与盖部件之间的层叠结构体，层叠结构体具备压电振动元件、半导体层以及一对测定电极，其中，上述压电振动元件具备压电体层和一对激励电极，上述压电体层具有对置的一对主面，上述一对激励电极分别设置于压电体层的一对主面，以便隔着压电体层相互对置，上述半导体层层叠于压电振动元件的压电体层的任意一个主面侧，上述一对测定电极设置于半导体层，一对测定电极构成为经由半导体层测定基于压电振动元件的温度的信号。

根据本发明，能够提供提高温度补偿精度的压电振子以及具备该压电振子的振荡器。

附图说明

图1是示意地表示第一实施方式的石英振子的结构的分解立体图。

图2是示意地表示第一实施方式的层叠结构体的结构的剖视图。

图3是示意地表示第一实施方式的石英振子的结构的剖视图。

图4是示意地表示第二实施方式的层叠结构体的结构的剖视图。

图5是示意地表示第三实施方式的层叠结构体的结构的剖视图。

图6是示意地表示第四实施方式的层叠结构体的结构的俯视图。

图7是示意地表示第五实施方式的层叠结构体的结构的俯视图。

图8是示意地表示第六实施方式的层叠结构体的结构的俯视图。

图9是示意地表示第七实施方式的层叠结构体的结构的俯视图。

图10是示意地表示第八实施方式的石英振子的结构的立体图。

图11是示意地表示第九实施方式的石英振子的结构的立体图。