[发明专利]负载锁定装置

权利要求书

1.一种负载锁定装置，其特征在于，具备：

负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；

基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；

驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；

延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及

泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体，

所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。

2.根据权利要求1所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述负载锁定装置还具备气体导入部，所述气体导入部配置于通过所述第一搬运口将所述基板搬运至所述传递室的状态下的所述基板保持件与所述传递室之间的路径的上方。

3.根据权利要求2所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述第一搬运口的高度比所述第二搬运口的高度低。

4.根据权利要求2或3所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述气体导入部包括使气体分散的气体分散部，

所述气体分散部配置于与所述第二搬运口相向的位置。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述第二搬运口的截面积。

6.根据权利要求2～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述第二搬运口的截面积的1/2。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述开口的截面积。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述负载锁定室与所述延长室之间的连接部分的截面积。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的高度方向的尺寸大于所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的尺寸。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述基板保持件的高度方向的尺寸为所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的最大尺寸的3倍以上且115倍以下。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述延长室的高度方向的尺寸大于所述基板保持件的高度方向的尺寸。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

在通过所述第一搬运口使基板在所述负载锁定室与所述传递室之间移动的状态下，所述基板保持件的下端的高度比所述延长室的顶面的高度高。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述第二搬运口的至少一部分配置于所述延长室的上方。

14.根据权利要求1～12中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，

所述延长室的至少一部分配置于所述第二搬运口与所述泵之间。