[发明专利]负载锁定装置

说明书

负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。

技术领域

本发明涉及一种负载锁定装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种负载锁定装置，该负载锁定装置具有：真空容器、在真空容器中进行升降的基板台、以及通过真空容器的底面中的配置于基板台的下方的开口与真空容器连接的高真空泵。

在配置有通过真空容器的底面中的配置于基板台的下方的开口与真空容器连接的泵的结构中，由泵产生的颗粒或者被泵吸引并被泵弹回的颗粒会飞扬，到达基板的上方侧的空间，可能附着于基板。这样的颗粒会引起使用基板制造的物品的制造不良。若为了抑制颗粒向基板的上方空间飞扬而减小基板台的侧面与真空容器的内表面的间隙，则可能会降低泵的排气效率。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-217670号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明提供一种有利于减少颗粒从泵向基板的上方空间的飞扬的技术。

本发明的一方面涉及负载锁定装置，所述负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体，所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。

附图说明

图1是示意性地示出包括本发明的一个实施方式的负载锁定装置的处理装置的结构的图。

图2是例示包括本发明的一个实施方式的负载锁定装置的处理装置的动作的图。

图3是例示包括本发明的一个实施方式的负载锁定装置的处理装置的动作的图。

图4是例示包括本发明的一个实施方式的负载锁定装置的处理装置的动作的图。

图5是例示包括本发明的一个实施方式的负载锁定装置的处理装置的动作的图。

图6是示出负载锁定室、延长室及气体分散部的配置的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明实施方式。此外，以下的实施方式并不限定权利要求书所涉及的发明。在实施方式中记载有多个特征，但这些多个特征并非全部都是发明的必要构件，另外，多个特征也可以任意地组合。而且，在附图中，对相同或同样的结构标注相同的附图标记，并省略重复的说明。