[发明专利]焊接制品制造装置及焊接制品的制造方法

权利要求书

1.一种焊接制品制造装置，具备：

载台，载置配置有焊料的基板；

盖体，隔有特定距离地覆盖载置于前述载台的前述基板的至少上部；

腔室，收容前述载台及前述盖体；

加热部，加热载置于前述载台的前述基板；及

还原气体供给装置，将还原氧化物的还原气体供给于前述腔室内。

2.根据权利要求1所述的焊接制品制造装置，其中，前述特定距离为以配置于前述基板的焊料与前述盖体的最短距离所规定。

3.根据权利要求2所述的焊接制品制造装置，其中，前述最短距离构成为0.1mm至20mm。

4.根据权利要求1所述的焊接制品制造装置，其中，前述特定距离为以前述基板与前述基板上方部分的前述盖体的最短距离所规定。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的焊接制品制造装置，其中，前述加热部以通过加热载置有前述基板的前述载台而加热前述基板的方式构成；

前述盖体以产生来自前述载台的热传达的方式与前述载台接触而构成。

6.根据权利要求5所述的焊接制品制造装置，其中，前述盖体以包围载置于前述载台的前述基板周围的空间的方式构成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的焊接制品制造装置，其中，前述盖体具有网部，该网部使前述基板上的物质所生成的气化的物质通过，但使液化或固化的前述物质无法通过。

8.一种焊接制品的制造方法，使用根据权利要求1至7中任一项所述的焊接制品制造装置而制造焊接制品的方法，并具有下述步骤：

载置步骤，将配置有前述焊料的前述基板载置于前述载台；

覆盖步骤，从前述焊料隔开距离地以前述盖体覆盖载置于前述载台的前述基板的至少上部；

加热步骤，在前述覆盖步骤后加热前述基板；及

还原气体供给步骤，于前述腔室内供给前述还原气体。

9.根据权利要求8所述的焊接制品的制造方法，其中，前述覆盖步骤中使前述焊料到前述盖体为止的最短部分的距离构成为0.1mm至20mm。