[发明专利]支撑件、振动隔离系统、光刻设备、物体测量设备、器件制造方法

权利要求书

1.支撑件，包括：

-第一端部和第二端部，其中所述第二端部在所述支撑件的纵向方向上位于与所述第一端部相反的一侧上，

-线圈弹簧，被布置在所述第一端部与所述第二端部之间，所述线圈弹簧包括：

-第一螺旋构件，在所述支撑件的圆周方向上在所述第一端部与所述第二端部之间延伸，以及

-第二螺旋构件，在所述支撑件的圆周方向上在所述第一端部与所述第二端部之间延伸，

其中所述线圈弹簧的所述第一螺旋构件和所述线圈弹簧的所述第二螺旋构件相对于彼此是可移动的，

其中所述支撑件还包括阻尼器装置，所述阻尼器装置被附接到所述第一螺旋构件。

2.根据权利要求1所述的支撑件，其中所述阻尼器装置被配置为对所述第一螺旋构件相对于所述第一端部、所述第二端部和/或所述第二螺旋构件中的至少一者的移动进行阻尼。

3.根据前述权利要求中任一项所述的支撑件，其中所述线圈弹簧的所述第一螺旋构件和所述线圈弹簧的所述第二螺旋构件在所述支撑件的所述纵向方向上相对于彼此是可移动的。

4.根据前述权利要求中任一项所述的支撑件，其中所述第一螺旋构件具有包括腹点的振动模式形状，并且其中所述阻尼器装置在所述腹点的位置处被附接到所述第一螺旋构件。

5.根据前述权利要求中任一项所述的支撑件，其中所述线圈弹簧包括不与所述阻尼器装置接合的至少一个自由螺旋构件，

所述自由螺旋构件是所述第二螺旋构件和/或不同于所述第一螺旋构件或所述第二螺旋构件的另外螺旋构件。

6.根据前述权利要求中任一项所述的支撑件，其中所述阻尼器装置包括第一阻尼器主体，所述第一阻尼器主体包括具有减振特性的材料，其中所述第一阻尼器主体可选地具有第一连接器表面，所述第一连接器表面被连接到所述第一螺旋构件。

7.根据权利要求6所述的支撑件，其中所述第一阻尼器主体还包括第二连接器表面，所述第二连接器表面被连接到所述第二螺旋构件。

8.根据权利要求7所述的支撑件，

其中所述第一螺旋构件具有与振动频率相关联的振动模式形状，所述振动模式形状包括腹点，并且其中所述第二螺旋构件具有与所述振动频率相关联的振动模式形状，所述第二螺旋构件的振动模式形状包括节点，

其中所述第一连接器表面在所述腹点的位置处被附接到所述第一螺旋构件，并且所述第二连接器表面在所述节点的位置处被附接到所述第二螺旋构件。

9.根据权利要求6所述的支撑件，其中所述阻尼器装置还包括第二阻尼器主体，所述第二阻尼器主体包括具有减振特性的材料，其中所述第二阻尼器主体可选地具有第一连接器表面，所述第一连接器表面被连接到所述第二螺旋构件。

10.根据权利要求9所述的支撑件，

其中所述阻尼器装置还包括约束器主体，

其中所述第一阻尼器主体包括第二连接器表面，所述第二连接器表面被连接到所述约束器主体，并且

其中所述第二阻尼器主体包括第二连接器表面，所述第二连接器表面被连接到所述约束器主体。

11.根据权利要求6和/或9中任一项所述的支撑件，其中具有减振特性的所述材料是粘弹性材料。

12.根据前述权利要求中任一项所述的支撑件，其中所述阻尼器装置包括调谐质量阻尼器，所述调谐质量阻尼器被连接到所述第一螺旋构件。

13.根据权利要求12所述的支撑件，其中所述调谐质量阻尼器包括阻尼器主体，所述阻尼器主体具有阻尼器主体质量，其中所述阻尼器主体质量小于50克，优选地小于20克，可选地在2与15克之间。