[发明专利]基板的位置对准方法

权利要求书

1.一种基板的位置对准方法，其特征在于，包括：

使用光学单元，遍及载置到载物台上的基板的整周而测定所述基板的边缘各部分的位置，由此取得表示所述边缘各部分的位置的一次位置数据的步骤；

使所述载物台在规定方向上移动规定量，使用所述光学单元，遍及所述载物台移动后的所述基板的整周而测定所述基板的边缘各部分的位置，由此取得表示移动后的所述边缘各部分的位置的二次位置数据的步骤；

使用所述一次位置数据和所述二次位置数据，计算所述载物台移动前与移动后的所述边缘各部分的位置的差分量的步骤；及

根据各个所述差分量和所述载物台的移动量而计算所述边缘各部分的光学倍率的比率，并基于计算出的所述边缘各部分的光学倍率的比率来校正所述一次位置数据的所述边缘各部分的位置，取得校正位置数据的步骤。

2.根据权利要求1所述的基板的位置对准方法，其中，

还包括基于所述校正位置数据，将所述基板的中心位置或设置于所述基板的基准标记的位置对准的步骤。

3.根据权利要求1所述的基板的位置对准方法，其中，

所述边缘各部分的位置由具备图像传感器的拍摄单元对载置到所述载物台上的所述基板进行了拍摄时的、所述图像传感器上的位置表示。

4.根据权利要求1所述的基板的位置对准方法，其中，

所述光学倍率的比率为利用所述光学单元使具有翘曲的基板成像时的光学倍率相对于利用所述光学单元使没有翘曲的平板状的基板成像时的光学倍率之比。

5.根据权利要求1所述的基板的位置对准方法，其中，

所述光学倍率的比率根据在基板产生的翘曲的状态而变化，通过将该光学倍率的比率的倒数与表示所述一次位置数据的所述边缘各部分的位置的坐标相乘，由此求出表示所述校正位置数据的所述边缘各部分的位置的坐标。