[发明专利]场分面系统、光学布置和光刻装置

权利要求书

1.一种用于光刻装置(100A、100B)的场分面系统(300A、300B、300C、300D、300E)，包括：

光学元件(302)，其中该光学元件(302)包括具有光学有效表面(304)的基座区段(308)，和配置在该基座区段(308)的背向该光学有效表面(304)的后侧(310)处的多个拉杆区段(312、312A-312D、314、314A-314D)，以及

两个或更多个致动元件(330、330A-330J、332)，其借助作为拉杆的该拉杆区段(312、312A-312E、314、314A-314E)而设置成分别施加弯曲力矩(M)至该基座区段(308)，以使该基座区段(308)弹性变形，从而改变该光学有效表面(304)的曲率半径(r)，

其中，沿该光学元件(302)的长度方向(y)观察，所述致动元件(330、330A-330J、332)串联布置。

2.如权利要求1的场分面系统，其中所述致动元件(330、330A-330J、332)设置成使该基座区段(308)从未变形状态(Z1)变为变形状态(Z3)，并且其中，当该基座区段(308)从该未变形状态(Z1)变为该变形状态(Z3)时，该曲率半径(r)减小。

3.如权利要求2的场分面系统，其中该基座区段(308)在该未变形状态(Z1)的方向上由弹簧预张紧，使得该基座区段(308)设置成自动使其自身从该变形状态(Z1)变为该未变形状态(Z3)。

4.如权利要求1至3中任一项的场分面系统，其中所述致动元件(300、300A-300J、332)设置成向该拉杆区段(312、312A-312E、314、314A-314E)施加致动力(F)，以产生该弯曲力矩(M)。

5.如权利要求4的场分面系统，其中该致动力(F)的作用方向(R330、R332)相对于该后侧(310)平行或倾斜定向。

6.如权利要求1至5中任一项的场分面系统，其中该拉杆区段(312、312A-312E、314、314A-314E)与该后侧(310)垂直定向。

7.如权利要求1至6任一项的场分面系统，还包括配置在第一组致动元件(330A-330E)与第二组致动元件(330F-330J)之间居中配置的致动元件(332)。

8.如权利要求7的场分面系统，其中该居中配置的致动元件(332)的宽度(c)既大于第一组中各个致动元件(330A-330E)的宽度(c)，又大于第二组中各个致动元件(330F-330J)的宽度(c)。

9.如权利要求8的场分面系统，其中沿该长度方向(z)观看，所述致动元件(330A-330J、332)的宽度从该居中配置的致动元件(332)朝向相应最外侧致动元件(330A、330J)连续地缩小。

10.如权利要求1至9中任一项的场分面系统，其中该光学元件(302)具有配置在该后侧(310)的联接区段(322)，其中在该拉杆区段(312、314)与该联接区段(322)之间配置有致动元件(330、332)。

11.如权利要求10的场分面系统，其中拉杆区段(312、314)分别布置在该基座区段(308)的末端侧上，并且其中该联接区段(322)居中布置在该基座区段(308)上。

12.如权利要求1至11中任一项的场分面系统，还包括第一致动元件(330)和第二致动元件(332)，其中该光学元件(302)具有第一拉杆区段(312)以及第二拉杆区段(314)，该第一致动元件(330)被指派给该第一拉杆区段，该第二致动元件(332)指派给该第二拉杆区段(332)，并且其中该第一致动元件(330)和该第二致动元件(332)彼此支撑。