[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

高声速材料层；

低声速膜，其设置在所述高声速材料层上；

压电体层，其设置在所述低声速膜上，包括钽酸锂；以及

IDT电极，其设置在所述压电体层上，

在所述高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，

在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低，

所述IDT电极具有相对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指以及一端与所述第二汇流条连接且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指，

在将弹性波传播方向设为第一方向且将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第一方向上重叠的部分是交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第二方向上的中央侧的中央区域、配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧的第一边缘区域以及配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧的第二边缘区域，所述IDT电极具有位于所述第一边缘区域与所述第一汇流条之间的第一间隔区域以及位于所述第二边缘区域与所述第二汇流条之间的第二间隔区域，

所述第一电极指和所述第二电极指的在所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的至少一个区域中的宽度比在所述中央区域中的宽度宽，

所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的占空比为0.62以上且0.73以下。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中，分别构成声速比所述中央区域低的低声速区域，

在所述第一边缘区域的所述第二方向上的外侧和所述第二边缘区域的所述第二方向上的外侧，分别构成声速比所述中央区域高的高声速区域。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

在所述第一间隔区域和所述第二间隔区域中，分别构成所述高声速区域。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极具有主电极层，

所述主电极层是Al层或AlCu层，

所述主电极层中的Cu的含有率为2重量％以下，

在将所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的声速成为最低的所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的占空比设为最佳占空比、将所述压电体层的膜厚设为LT膜厚、将所述IDT电极的所述第一电极指和所述第二电极指中的所述主电极层的膜厚设为电极膜厚时，所述LT膜厚和所述电极膜厚在下述的式1中所述最佳占空比成为0.62以上且0.73以下的范围内，

[数式1]

数式1 最佳占空比＝0.66831566544375+0.821829726029454×((″电极膜厚[λ]″)-0.0625000000000001)+0.0377723825227273×((″LT膜厚[λ]″)-0.275)+5.41169053151292×(((″电极膜厚[λ]″)-0.0625000000000001)×((″电极膜厚[λ]″)-0.0625000000000001)-0.00053125)+(-0.325118002174692)×(((″电极膜厚[λ]″)-0.0625000000000001)×((″LT膜厚[λ]″)-0.275))+(-0.0722908233901528)×(((″LT膜厚[λ]″)-0.275)×((″LT膜厚[λ]″)-0.275)-0.020625) ···式1。