[发明专利]弹性波装置

说明书

提供一种弹性波装置，能够更加可靠地抑制横模式。本发明的弹性波装置(1)具备高声速膜(14)、低声速膜(15)、包括钽酸锂的压电体层(16)和设置在压电体层(16)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有第一、第二汇流条(4、5)和多个第一、第二电极指(6、7)。第一、第二电极指(6、7)在弹性波传播方向上重叠的部分是交叉区域(A)。交叉区域(A)具有中央区域(B)和第一、第二边缘区域(C₁、C₂)。IDT电极(3)具有位于第一、第二边缘区域(C₁、C₂)的外侧的第一、第二间隔区域(D₁、D₂)。第一、第二电极指(6、7)的第一、第二边缘区域(C₁、C₂)中的宽度比中央区域(B)中的宽度宽。第一、第二边缘区域(C₁、C₂)中的占空比为0.62以上且0.73以下。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。

在下述的专利文献1中记载有一种弹性波装置，该弹性波装置具有高声速支承基板、层叠在高声速支承基板上的低声速膜、层叠在低声速膜上且包括钽酸锂的压电膜、以及设置在压电膜上的IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。IDT电极具有汇流条和与汇流条连接的多个电极指。多个电极指在比中央区域靠基端侧和前端侧中的至少一侧的位置设置有宽度方向尺寸比电极指的长度方向中央大的宽幅部。通过设置宽幅部，能够使电极指的基端侧和前端侧中的至少一方的声速低于电极指的中央的声速。由此，通过利用活塞模式来实现横模式纹波的抑制。公开了期望将上述宽幅部的占空比设为0.6～0.9的范围。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-174595号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在专利文献1所记载的那样的具有层叠构造的弹性波装置中，当应用所公开的宽幅部的占空比时，声速有时在电极指的基端或前端变高。因此，活塞模式的利用变得困难，有时无法充分地抑制横模式。

本发明的目的在于，提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明的弹性波装置具备：高声速材料层；低声速膜，其设置在所述高声速材料层上；压电体层，其设置在所述低声速膜上，包括钽酸锂；以及IDT电极，其设置在所述压电体层上，在所述高声速材料层传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，在所述低声速膜传播的体波的声速比在所述压电体层传播的体波的声速低，所述IDT电极具有相对置的第一汇流条和第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指、以及一端与所述第二汇流条连接且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指，在将弹性波传播方向设为第一方向且将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第一方向上重叠的部分是交叉区域，所述交叉区域具有位于所述第二方向上的中央侧的中央区域、配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧的第一边缘区域、以及配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧的第二边缘区域，所述IDT电极具有位于所述第一边缘区域与所述第一汇流条之间的第一间隔区域、以及位于所述第二边缘区域与所述第二汇流条之间的第二间隔区域，所述第一电极指和所述第二电极指的在所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的至少一个区域中的宽度比在所述中央区域中的宽度宽，所述第一边缘区域和所述第二边缘区域中的占空比为0.62以上且0.73以下。

发明效果

根据本发明的弹性波装置，能够更加可靠地抑制横模式。

附图说明