[发明专利]基板支架以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板支架，其具有用于支承基板的支承面，并用于进行所述基板的定位，使所述基板的中心轴线位于沿与所述支承面垂直的方向延伸的理想轴线上，其中，

所述基板支架具备：

第一保持部件；

第二保持部件，其用于与所述第一保持部件一起夹持所述基板；

3个以上的定位部件，其具有用于与所述基板的侧端部接触的接触面；

第一移动部件，其具有多个卡合部，所述多个卡合部与各个所述定位部件卡合，用以以维持所述理想轴线与各个所述定位部件的所述接触面之间的各距离相等的状态，使所述定位部件分别同时移动；以及

第一施力部件，其对所述第一移动部件施力，

所述第一移动部件借助所述卡合部将所述第一施力部件的作用力传递至各个所述定位部件，

通过从所述第一施力部件传递的作用力，以所述接触面向所述理想轴线接近的朝向对各个所述定位部件施力。

2.根据权利要求1所述的基板支架，其中，

所述定位部件具有供所述卡合部可移动地卡合的被卡合部，

所述第一移动部件构成为能够以所述理想轴线为中心而旋转，

在所述第一移动部件以所述理想轴线为中心而旋转时，所述第一移动部件的旋转借助所述卡合部和所述被卡合部而传递至所述定位部件，从而所述定位部件沿以所述理想轴线为中心的虚拟圆的半径方向移动。

3.根据权利要求2所述的基板支架，其中，

所述被卡合部为第一销或者第一长孔，

所述卡合部为用于与所述第一销卡合的第二长孔或者用于与所述第一长孔卡合的第二销。

4.根据权利要求3所述的基板支架，其中，

所述第一销和所述第二销与所述理想轴线平行地延伸，

所述第一长孔的长度方向和所述第二长孔的长度方向为与所述虚拟圆的半径方向和圆周方向交叉的方向。

5.根据权利要求2～4中的任一项所述的基板支架，其中，

所述基板支架具备用于使所述第一移动部件以所述理想轴线为中心而旋转的第二移动部件。

6.根据权利要求5所述的基板支架，其中，

所述第二移动部件构成为具有第一按压面，并能够以所述理想轴线为中心而旋转，

所述第一移动部件具有第一被按压面，

所述第一施力部件位于所述第一移动部件的所述第一被按压面与所述第二移动部件的所述第一按压面之间，并借助所述第一被按压面对所述第一移动部件施力。

7.根据权利要求5或6所述的基板支架，其中，

所述第二移动部件构成为具有第二按压面，并能够以所述理想轴线为中心而旋转，

所述第一移动部件具有与所述第二按压面对置的第二被按压面，

所述第一施力部件对所述第一移动部件施力，由此以所述第二被按压面朝向所述第二按压面的朝向对所述第一移动部件施力，从而所述第二被按压面与所述第二按压面抵接，

在所述第二移动部件以所述理想轴线为中心而旋转时，所述第二被按压面与所述第二按压面一起旋转，所述第一移动部件向与所述第二移动部件相同的旋转方向旋转。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的基板支架，其中，

所述基板支架还具备用于使所述第一移动部件向以所述理想轴线为中心的第一旋转方向旋转的第二施力部件，

在所述第一移动部件向所述第一旋转方向旋转时，所述接触面与所述第一移动部件的旋转联动，以离开所述理想轴线的朝向移动。

9.根据从属于权利要求7的权利要求8所述的基板支架，其中，

所述第二施力部件向与以所述理想轴线为中心的虚拟圆的半径方向交叉的方向对所述第二移动部件施力，使所述第二移动部件向所述第一旋转方向旋转。