[发明专利]流量调整阀、泵单元以及表面处理装置

权利要求书

1.一种流量调整阀，其特征在于，具备：

流路部，在一端形成有开口部，供流体流动；

升降阀，能够覆盖上述开口部的整个区域而将上述开口部关闭，且能够从上述开口部向上述开口部的开口方向分离而将上述开口部打开，并且通过使上述开口方向上与上述开口部之间的距离变化来使相对于上述开口部的流通面积变化；以及

驱动机构，基于规定的检测值使上述升降阀向上述开口方向移动。

2.如权利要求1所述的流量调整阀，其中，

上述升降阀为，从上述开口方向观察到的形状为大致圆形。

3.一种泵单元，其特征在于，

具备流量调整阀以及泵，

上述流量调整阀具备：

流路部，在一端形成有开口部，供流体流动；

升降阀，能够覆盖上述开口部的整个区域而将上述开口部关闭，且能够从上述开口部向上述开口部的开口方向分离而将上述开口部打开，并且通过使上述开口方向上与上述开口部之间的距离变化来使相对于上述开口部的流通面积变化；以及

驱动机构，基于规定的检测值使上述升降阀向上述开口方向移动，

上述泵配置在上述流路部中形成有上述开口部的一侧的端部的相反侧，对在上述流路部中流动的流体进行吸引。

4.如权利要求3所述的泵单元，其中，

上述升降阀为，从上述开口方向观察到的形状为大致圆形，

上述泵具有以旋转轴为中心旋转的叶轮，通过上述叶轮以上述旋转轴为中心旋转，对在上述流路部中流动的流体进行吸引，

上述泵的上述旋转轴与上述升降阀的形状即大致圆形的中心轴大致一致。

5.一种表面处理装置，其特征在于，

具备流量调整阀、泵以及腔室，

上述流量调整阀具备：

流路部，在一端形成有开口部，供流体流动；

升降阀，能够覆盖上述开口部的整个区域而将上述开口部关闭，且能够从上述开口部向上述开口部的开口方向分离而将上述开口部打开，并且通过使上述开口方向上与上述开口部之间的距离变化来使相对于上述开口部的流通面积变化；以及

驱动机构，基于规定的检测值使上述升降阀向上述开口方向移动，

上述泵配置在上述流路部中形成有上述开口部的一侧的端部的相反侧，对在上述流路部中流动的流体进行吸引，

上述腔室能够在内部收容进行表面处理的被处理件，

上述开口部对上述腔室开口，

上述升降阀配置在上述腔室内，

上述驱动机构基于上述腔室内的压力使上述升降阀移动。