[发明专利]聚合物、感光性树脂组合物、树脂膜和电子装置

权利要求书

1.一种聚合物，其特征在于：

包含由以下的式(1)和(2a)表示的结构单元，

式(1)中，

R₁、R₂、R₃和R₄分别独立地为氢或碳原子数1～30的有机基团，n为0、1或2，

式(2a)中，

R₅为碳原子数1～30的有机基团，

R₁、R₂、R₃、R₄和R₅中的至少一个为碳原子数1～30的含氟有机基团。

2.根据权利要求1所述的聚合物，其特征在于：

所述碳原子数1～30的含氟有机基团为碳原子数1～30的氟烷基或具有醚性氧原子的碳原子数1～30的氟烷基。

3.根据权利要求1或2所述的聚合物，其特征在于：

所述R₁、R₂、R₃和R₄中的至少一个为碳原子数1～30的含氟有机基团。

4.根据权利要求3所述的聚合物，其特征在于：

所述R₁、R₂、R₃和R₄中的至少一个为碳原子数1～30的氟烷基。

5.根据权利要求4所述的聚合物，其特征在于：

所述碳原子数1～30的氟烷基为全氟烷基。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的聚合物，其特征在于：

所述聚合物还包含由式(B2)～(B6)表示的结构单元中的至少一个，

式(B2)中，R₆和R₇分别独立地为碳原子数1～30的有机基团，

式(B6)中，R₈为碳原子数1～30的有机基团。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的聚合物，其特征在于：

所述聚合物的重均分子量为1500以上30000以下。

8.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：

包含由以下的式(1)和(2a)表示的结构单元的聚合物；

交联剂；和

光敏剂，

式(1)中，

R₁、R₂、R₃和R₄分别独立地为氢或碳原子数1～30的有机基团，n为0、1或2，

式(2a)中，

R₅为碳原子数1～30的有机基团，

R₁、R₂、R₃、R₄和R₅中的至少一个为碳原子数1～30的含氟有机基团。

9.根据权利要求8所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述碳原子数1～30的含氟有机基团为碳原子数1～30的氟烷基或具有醚性氧原子的碳原子数1～30的氟烷基。

10.根据权利要求8或9所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述R₁、R₂、R₃和R₄中的至少一个为碳原子数1～30的含氟有机基团。

11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述R₁、R₂、R₃和R₄中的至少一个为碳原子数1～30的氟烷基。