[发明专利]低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温泵壳体；

低温板，配置于所述低温泵壳体内且具备不燃性吸附材料；

加热装置，对所述不燃性吸附材料及所述低温板进行加热；

吹扫阀，安装在所述低温泵壳体上且将所述低温泵壳体连接于吹扫气体源；

粗抽阀，安装在所述低温泵壳体上且将所述低温泵壳体连接于粗抽泵；

传感器，生成表示所述不燃性吸附材料的温度或所述低温泵壳体的内压的测量信号；及

控制器，接收再生开始指令，并根据所述测量信号控制所述加热装置、所述吹扫阀及所述粗抽阀中的至少一个，以执行(i)升华再生顺序或(ii)脱水顺序中的任一个顺序，所述升华再生顺序构成为，通过使所述不燃性吸附材料暴露于真空环境，使水从所述不燃性吸附材料升华，所述脱水顺序构成为，通过使所述不燃性吸附材料在室温或比其更高的温度下暴露于压力比所述真空环境更高的干燥环境，使所述不燃性吸附材料脱水。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述传感器包括生成表示所述不燃性吸附材料的温度的温度测量信号的温度传感器，

所述控制器根据所述温度测量信号来控制所述加热装置、所述吹扫阀及所述粗抽阀中的至少一个，从而在被视为所述不燃性吸附材料处于室温的情况下执行所述脱水顺序。

3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器根据所述温度测量信号来控制所述加热装置、所述吹扫阀及所述粗抽阀中的至少一个，从而在被视为所述不燃性吸附材料处于比室温更低的温度情况下执行所述升华再生顺序。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器可以代替所述测量信号而根据刚接收到再生开始指令之前的低温泵的状态来控制所述加热装置、所述吹扫阀及所述粗抽阀中的至少一个，从而执行所述升华再生顺序或所述脱水顺序中的任一个顺序。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器在所述脱水顺序中控制所述加热装置，以使所述不燃性吸附材料及所述低温板加热至50℃以上。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器在所述脱水顺序中开启所述吹扫阀，以使吹扫气体供给到所述低温泵壳体。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器在所述脱水顺序期间保持所述粗抽阀的关闭状态。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述真空环境的压力为小于100Pa，所述干燥环境的压力为至少1000Pa。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述干燥环境的压力为至少1气压。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵不具有活性炭。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述控制器控制所述加热装置、所述吹扫阀及所述粗抽阀中的至少一个，从而在所述脱水顺序之后执行追加脱水顺序，

所述追加脱水顺序构成为，通过基于所述粗抽阀的所述低温泵壳体的真空排气，或者，通过交替反复进行所述真空排气和基于所述吹扫阀的向所述低温泵壳体的吹扫气体的供给的粗抽及吹扫，减少残留于所述不燃性吸附材料的水。