[发明专利]低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法

说明书

本发明的低温泵(10)具备：不燃性吸附材料(64)；及控制器(100)，所述控制器为了开始低温泵(10)的真空排气运转依次执行如下步骤：通过使不燃性吸附材料(64)在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境，使不燃性吸附材料(64)脱水；不燃性吸附材料(64)的脱水之后，对不燃性吸附材料(64)的周围环境进行真空排气；及在真空环境下将不燃性吸附材料(64)冷却至超低温。

技术领域

本发明涉及一种低温泵、低温泵系统及低温泵的运转开始方法。

背景技术

低温泵是通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行将捕捉到的气体向外部排出的再生。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-263760号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

为了使不冷凝的氢气等不凝性气体吸附到低温板，低温泵的低温板上具有吸附材料。典型的吸附材料为活性炭，并且在某一用途中，包含氧气或臭氧的气体被低温泵排气。在该情况下，再生中，活性炭可能会暴露于氧气环境中。由于活性炭是可燃物，因此有可能会出于某种原因而产生意外起火。

本发明人等为了尽可能地减小安全上的风险，对使用与活性炭不同的代替吸附材料的低温泵的可行性进行了研究。然而，得知这种代替吸附材料与活性炭相比具有容易受使用环境等各种因素的影响而破碎成粉末状的趋向。若吸附材料破损，则低温泵的排气性能会降低。并且，破碎的粉末有可能会飞散而侵入低温泵的构成部件从而给该部件带来不良影响。例如，吸附材料的粉末可能会卡入附属于低温泵或与其连接的阀中，会导致阀泄漏。

本发明的一实施方式的示例性目的之一在于，提供一种搭载有排出不凝性气体的代替吸附材料的新的低温泵。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一实施方式，低温泵具备：低温泵壳体；低温板，配置于低温泵壳体内且具备不燃性吸附材料；加热装置，对不燃性吸附材料及低温板进行加热；吹扫阀，安装在低温泵壳体上且将低温泵壳体连接于吹扫气体源；粗抽阀，安装在低温泵壳体上且将低温泵壳体连接于粗抽泵；传感器，生成表示不燃性吸附材料的温度或低温泵壳体的内压的测量信号；及控制器，接收再生开始指令，并根据测量信号控制加热装置、吹扫阀及粗抽阀中的至少一个，以执行(i)升华再生顺序或(i i)脱水顺序中的任一个顺序，所述升华再生顺序构成为，通过使不燃性吸附材料暴露于真空环境，使水从不燃性吸附材料升华，所述脱水顺序构成为，通过使不燃性吸附材料在室温或比其更高的温度下暴露于压力比真空环境更高的干燥环境，使不燃性吸附材料脱水。

根据本发明的一实施方式，低温泵具备：低温泵壳体；低温板，配置于低温泵壳体内且具备不燃性吸附材料；加热装置，对不燃性吸附材料及低温板进行加热；吹扫阀，安装在低温泵壳体上且将低温泵壳体连接于吹扫气体源；粗抽阀，安装在低温泵壳体上且将低温泵壳体连接于粗抽泵；及控制器，按照脱水顺序控制加热装置、吹扫阀及粗抽阀中的至少一个，并控制粗抽阀以在脱水顺序之后在低温泵壳体生成真空环境。脱水顺序构成为，通过使不燃性吸附材料在室温或比其更高的温度下暴露于压力比真空环境更高的干燥环境，使不燃性吸附材料脱水。

根据本发明的一实施方式，低温泵具备：不燃性吸附材料；及控制器，控制器为了开始低温泵的真空排气运转而依次执行如下步骤：通过使不燃性吸附材料在室温或比其更高的温度下暴露于干燥环境，使不燃性吸附材料脱水；不燃性吸附材料的脱水之后，对不燃性吸附材料的周围环境进行真空排气；及在真空环境下将不燃性吸附材料冷却至超低温。