[发明专利]硅化合物、反应性材料、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜及图案固化膜的制造方法

权利要求书

1.一种硅化合物，其由下述通式(x)表示：

通式(x)中，

R¹为多个的情况下，分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基，烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R²为多个的情况下，分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R^A为酸不稳定性基团，

a为1～3的整数，b为0～2的整数，c为1～3的整数，a+b+c＝4，

n为1～5的整数。

2.根据权利要求1所述的硅化合物，其中，所述R^A为选自由烷基、烷氧基羰基、缩醛基、甲硅烷基及酰基组成的组中的至少任一者。

3.一种反应性材料，其包含下述通式(x)所示的硅化合物(X)：

通式(x)中，

R¹为多个的情况下，分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基，烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R²为多个的情况下，分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R^A为酸不稳定性基团，

a为1～3的整数，b为0～2的整数，c为1～3的整数，a+b+c＝4，

n为1～5的整数。

4.根据权利要求3所述的反应性材料，其中，所述R^A为选自由烷基、烷氧基羰基、缩醛基、甲硅烷基及酰基组成的组中的至少任一者。

5.根据权利要求3或4所述的反应性材料，其进而包含下述通式(y)所示的硅化合物(Y)，

将该反应性材料中所包含的所述硅化合物(X)的质量设为M_X、将所述硅化合物(Y)的质量设为M_Y时，{M_Y/(M_X+M_Y)}×100所示的硅化合物(Y)的比率为1×10^-4～12质量％；

通式(y)中，R¹、R²、a、b、c及n的定义与通式(x)相同。

6.一种聚硅氧烷化合物，其是通过在酸性催化剂下或碱性催化剂下使权利要求1或2所述的硅化合物、或权利要求3至5中任一项所述的反应性材料缩聚而得到的。

7.根据权利要求6所述的聚硅氧烷化合物，其重均分子量为1000～100000。

8.一种树脂组合物，其包含权利要求6或7所述的聚硅氧烷化合物、及溶剂。

9.根据权利要求8所述的树脂组合物，其中，所述溶剂包含选自由丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、环己酮、乳酸乙酯、γ-丁内酯、二丙酮醇、二乙二醇二甲醚、甲基异丁基酮、乙酸3-甲氧基丁酯、2-庚酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二醇类、二醇醚类及二醇醚酯类组成的组中的至少1种。

10.一种感光性树脂组合物，其包含权利要求8或9所述的树脂组合物、及光产酸剂。

11.一种固化膜，其为权利要求8或9所述的树脂组合物的固化膜。

12.一种固化膜的制造方法，其包括将权利要求8或9所述的树脂组合物涂布于基材上之后，以100～350℃的温度加热的加热工序。