[发明专利]硅化合物、反应性材料、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜及图案固化膜的制造方法

说明书

本发明为一种由下述通式(x)表示的硅化合物。另外，本发明为一种包含由下述通式(x)表示的硅化合物的反应性材料。通式(x)中，R¹为多个的情况下，分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基，烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，R²为多个的情况下，分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，R^A为酸不稳定性基团，a为1～3的整数，b为0～2的整数，c为1～3的整数，a+b+c＝4，n为1～5的整数。

技术领域

本发明涉及硅化合物、反应性材料、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜及图案固化膜的制造方法。

背景技术

含有硅氧烷键的高分子化合物具有较高的耐热性、透明性。已知基于这些特性，正在尝试将含有硅氧烷键的高分子化合物应用于例如液晶显示器或有机EL(电致发光)显示器的涂布材料、图像传感器的涂布剂、半导体领域的密封材料、感光性树脂组合物等。

另外，含有硅氧烷键的高分子化合物具有较高的耐氧等离子体性。因此，也正在研究将含有硅氧烷键的高分子化合物作为例如多层抗蚀剂的硬掩膜材料。

专利文献1中记载有一种正型感光性树脂组合物，其包含聚硅氧烷化合物，所述聚硅氧烷化合物具有苯环被-C(CF₃)₂OX所示的基团(X为氢原子或酸不稳定性基团)取代的结构。

在该专利文献1的段落0106、实施例3-1中，记载有如下的聚硅氧烷化合物的合成方法：通过使二碳酸二叔丁酯与具有-C(CF₃)₂OH所示的基团的聚硅氧烷化合物(聚合物)反应，从而向聚合物中导入酸不稳定性基团(叔丁氧基羰基)。

专利文献2中记载有一种具有苯环被-C(CF₃)₂OH所示的基团取代的结构的硅氧烷化合物的制造方法，其包括特定的2个工序。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第6323225号公报

专利文献2：国际公开第2019/167770号

发明内容

发明要解决的问题

本发明人等在与含氟硅氧烷化合物相关的研究中发现现有的含氟硅氧烷化合物在例如贮藏稳定性的方面存在改良的余地。

因此，本发明人等以提供贮藏稳定性良好的含氟硅氧烷化合物作为目的之一而进行了各种研究。

用于解决问题的方案

本发明人等进行研究后，终于完成了以下所提供的发明，从而解决了上述问题。

本发明如下所示。

1.一种硅化合物，其由下述通式(x)表示。

通式(x)中，

R¹为多个的情况下，分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基，烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R²为多个的情况下，分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基，烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代，

R^A为酸不稳定性基团，