[发明专利]包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备在审
申请号: | 202080077044.8 | 申请日: | 2020-11-11 |
公开(公告)号: | CN114631059A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | J·M·特尔默伦;B·J·蒂图莱尔;A·J·范埃芬 | 申请(专利权)人: | 莫福托尼克斯控股有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 牛晓玲;吴鹏 |
地址: | 荷兰费*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 具有 补偿 材料 载体 用于 压印 工艺 设备 | ||
1.一种用于辊对板工艺的压印设备,所述压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102),其中所述柔性母版(105)在压印过程中能压在所述基板(102)上并且所述印版载体(101)保持所述基板(102),其中所述印版载体(101)包括补偿材料,其特征在于,所述基板(102)位于所述补偿材料上方,其中所述补偿材料的面积大于所述基板(102)的面积并且所述基板(102)的边界和所述补偿材料的边界不接触。
2.一种用于辊对板工艺的压印设备,所述压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102),其中所述柔性母版(105)在压印过程中能压在所述基板(102)上并且所述印版载体(101)保持所述基板(102),其中所述印版载体(101)包括形式为包括流体的附加层的补偿材料。
3.根据权利要求1所述的压印设备,其中,所述补偿材料是柔性材料(114)。
4.根据权利要求1或2所述的压印设备,其中,所述印版载体(101)具有至少一个空腔(112),所述基板(102)能位于所述空腔中。
5.根据前述权利要求中的至少一项所述的压印设备,其中,所述基板(102)能嵌入所述补偿材料中。
6.根据前述权利要求中的至少一项所述的压印设备,其中,所述印版载体(101)包括至少一个第一印版载体部分(101A)和至少一个第二印版载体部分(101B),其中所述第一印版载体部分(101A)和/或第二印版载体部分(101B)包括补偿材料。
7.根据权利要求6所述的压印设备,其中,所述第一印版载体部分(101A)由第一材料制成并且所述第二印版载体部分(101B)由第二材料制成,其中所述第一材料与所述第二材料彼此不同。
8.根据权利要求6至7所述的压印设备,其中,所述第一印版载体部分(101A)能够经由连接装置可逆地接触到所述第二印版载体部分(101B)。
9.根据权利要求1所述的压印设备,其中,所述印版载体(101)由所述补偿材料制成。
10.根据权利要求6所述的压印设备,其中,所述第一印版载体部分(101A)或所述第二印版载体部分(101B)由所述补偿材料制成。
11.根据权利要求6所述的压印设备,其中,所述补偿材料能够可逆地连接到所述第一印版载体部分(101A)和/或所述第二印版载体部分(101B)。
12.根据权利要求1或3所述的压印设备,其中,使用柔性垫(114)作为补偿材料。
13.根据权利要求3所述的压印设备,其中,所述补偿材料是具有根据ASTM E111测量的0.1吉帕斯卡(GPa)与10吉帕斯卡(GPa)之间的杨氏模量的柔性材料。
14.根据权利要求3所述的压印设备,其中,所述补偿材料具有根据ASTM D2240测量的低于80的肖氏A硬度值。
15.根据权利要求2所述的压印设备,其中,所述流体是氩气、氮气、空气或粘弹性流体。
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