[发明专利]包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备在审

专利信息
申请号: 202080077044.8 申请日: 2020-11-11
公开(公告)号: CN114631059A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: J·M·特尔默伦;B·J·蒂图莱尔;A·J·范埃芬 申请(专利权)人: 莫福托尼克斯控股有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 牛晓玲;吴鹏
地址: 荷兰费*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 包括 具有 补偿 材料 载体 用于 压印 工艺 设备
【说明书】:

发明涉及一种用于辊对板工艺的压印设备,该压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102),其中柔性母版在压印过程中可压在基板上,并且印版载体保持基板,其中印版载体包括补偿材料(114)。补偿材料的面积大于基板的面积,并且基板的边界与补偿材料的边界不接触。

技术领域

本发明涉及一种用于辊对板工艺的压印设备。

背景技术

用于辊对板工艺的压印设备是已知的并且包括辊、具有压印图案的柔性母版、印版载体和基板。基板位于印版载体上。柔性印模带有期望产品所需的反转结构(压印图案或浮凸结构),并且基板和/或柔性母版包含可固化树脂(也称为漆)。在压印工艺期间,柔性母版通过使用辊挤压在基板上,可固化树脂位于其间。在固化期间,树脂例如通过热和/或UV固化,并且在去除柔性母版之后,具有所需产品结构的固化树脂被转移以保留在基板上。

辊对板压印工艺是一种离散的压印工艺。它不同于连续的辊对辊压印工艺。在辊对辊工艺中,通过使用第二辊来提供压印期间的反压。在辊对板压印工艺中,使用印版载体,并且反压由印版载体直接提供或经由布置在印版载体下方的下部压印辊间接提供。

根据本发明的印版载体是一种包括载体表面的板,其中载体表面的面积大于垂直于载体表面的印版厚度。印版载体的宽度和长度大于基板的面积。

例如,WO 2016128493中描述了用于辊对板压印设备的已知现有技术。

文献JP 2016207950涉及一种用于形成精细图案的压印设备。目的在于提高精细图案的转印质量,其中在制造过程中应补偿转印对象的厚度差。

术语“柔性母版”在本发明中用于任何柔性且适合作为压印图案载体的装置。优选地,柔性母版是柔性印模或柔性镍垫片。

使用辊对板压印设备,可以对顶部有树脂的大面积表面进行压印,以获得可固化的压印产品。这些大面积的表面可以通过使用大印版载体来运输或处理。印版载体的目的是引导和运输基板。具有印版载体可以实现或促进柔性母版和基板的对齐。印版载体还可以对压印辊施加反压。在不同的设置中,反压由位于基板和印版载体下方的下部压印辊提供。

印版载体尺寸越大,印版载体的平坦表面的制作就越复杂。如果印版载体不是完全平坦的,则在与顶部辊的线压力相结合的压印过程中基板(位于印版载体上方)上的反压将局部地有所不同。这将导致最终产品上的局部厚度变化。另外,如果(大)基板的背面(其与印版载体接触)由于厚度变化、缺陷或污染(例如灰尘颗粒)而不是均匀地平坦的,那么在压印期间也会出现压力变化。此外,压印辊的不平整也会导致压印期间的压力变化。这一切都将导致局部较薄或较厚的残留层厚度。因此,基板的不平整背面会导致基板正面——即漆面——出现可见缺陷并影响压印的最终产品的质量。

辊对辊压印工艺不使用印版载体。辊对辊压印专注于纹理化膜的生产,而不是在离散基板或产品上复制纹理。在辊对辊压印中,柔性母版与产品的对齐不是问题。

发明内容

因此,本发明的目的是补偿或至少最大限度地减小现有技术的辊对板压印设备的缺点。

该目的通过一种用于辊对板工艺的压印设备来实现,其中印版载体包括补偿材料,其中基板位于补偿材料上方,其中补偿材料的面积大于基板的面积并且基板的边界和补偿材料的边界不接触。由于补偿材料的使用,基板和/或印版载体和/或压印辊的不均匀平坦度的缺点可以通过补偿材料来减轻或减小。

基板位于补偿材料上方与补偿材料的边界区域相距一定距离处。优选地,基板边界到补偿材料边界的距离为至少3mm,优选至少0.5cm,更优选至少3cm,最优选至少5cm,最优选至少10cm。

补偿材料的边界区域是指补偿材料的侧面和边缘。如果使用圆形补偿材料,则该圆形材料仅具有一个侧面,并且基板位于距该一个侧面一定距离处。

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