[发明专利]用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物

权利要求书

1.一种用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物，其特征在于，

包括：

(a)0.01重量百分比～3重量百分比的下述化学式1的过渡金属及金属氧化物缓蚀剂；

(b)0.05重量百分比～3重量百分比的下述化学式2的无硫缓蚀剂；

(c)1重量百分比～10重量百分比的伯胺及仲胺的混合物；

(d)1重量百分比～15重量百分比的环状醇；

(e)1重量百分比～30重量百分比的非质子极性有机溶剂；

(f)1重量百分比～30重量百分比的质子极性有机溶剂；以及

(g)剩余量的超纯水，

化学式1：

化学式2：

化学式3：

其中，T¹或T²各自独立地为-O^-NH₄⁺或-O-H；

T³为-O-R或-R`；

R及R`各自独立地选自由氢、甲基、直链或支链C₂～C₁₂烷基、直链或支链C₂～C₁₂烯基、直链或支链C₂～C₁₂炔基、C₃～C₁₂环烷基、包含选自由N、O及S组成的组中的一种以上的杂原子的具有3个至10个核型原子的杂环烷基、C₆～C₂₀芳基、包含选自由N、O及S组成的组中的一种以上的杂原子的具有5个至20个核型原子的杂芳基、C₁～C₁₂烷氧基及C₆～C₁₂芳氧基组成的组中；

化学式2的环A为化学式3的结构中的一种；

R¹、R²及R³选自由甲基、直链或支链C₂～C₁₂烷基、直链或支链C₂～C₁₂烯基、直链或支链C₂～C₁₂炔基、C₃～C₁₂环烷基、包含选自由N、O及S组成的组中的一种以上的杂原子的具有3个至10个核型原子的杂环烷基、C₆～C₂₀芳基、包含选自由N、O及S组成的组中的一种以上的杂原子的具有5个至20个核型原子的杂芳基、C₁～C₁₂烷氧基及C₆～C₁₂芳氧基组成的组中；

*是指形成化学式2的吡啶环与环A的融合的碳。

2.根据权利要求1所述的用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物，其特征在于，上述过渡金属及金属氧化物缓蚀剂为选自由磷酸二氢铵、磷酸氢二铵、磷酸三铵、甲基膦酸、乙基膦酸、丙基膦酸、丁基膦酸、叔丁基膦酸、戊基膦酸、正己基膦酸、磷酸三乙酯、辛基膦酸、癸基膦酸、十二烷基膦酸、十四烷基膦酸、十八烷基膦酸、磷酸己酯、磷酸庚酯、辛基磷酸酯、磷酸壬酯、磷酸癸酯及磷酸十二烷基酯组成的组中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物，其特征在于，上述无硫缓蚀剂为选自由咪唑[4,5-b]吡啶、6-甲基咪唑[4,5-b]吡啶、咪唑[4,5-b]吡啶-2-羧酸、6-甲基咪唑[4,5-b]吡啶-2-羧酸、1H-吡唑并[3,4-b]吡啶、3-甲基-1H-吡唑并[3,4-b]吡啶、1H-吡唑并[3,4-b]吡啶-3-羧酸、5-甲基-1H-吡唑并[3,4-b]吡啶-3-羧酸、1H-1,2,3-三氮唑并[4,5-b]吡啶、6-甲基-3H-1,2,3-三氮唑并[4,5-b]吡啶、3H-1,2,3-三氮唑并[4,5-b]吡啶-6-羧酸及3-甲基-3H-1,2,3-三氮唑并[4,5-b]吡啶-6-羧酸组成的组中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的用于制造显示器的光刻胶剥离液组合物，其特征在于，上述伯胺选自由单乙醇胺、单异丙醇胺、2-氨基-2-甲基-1-丙醇、氨基乙氧基乙醇及它们的混合物组成的组中。