[发明专利]玻璃膜的制造方法、玻璃卷的制造方法以及玻璃膜的制造装置

说明书

一种玻璃膜(G1)的制造方法，至少包括在利用搬运装置(8)沿规定的方向搬运带状的玻璃膜(G1)的同时将该带状的玻璃膜(G1)切断的切断工序(S5)，在切断工序(S5)中，通过向玻璃膜(G1)照射激光(L)从而在规定的切断区域(21)进行玻璃膜(G1)的切断，并且搬运装置(8)的玻璃膜(G1)的支承搬运面(23a、28a)在玻璃膜(G1)的切断区域(21)断开。另外，在相对于切断区域(21)位于玻璃膜(G1)的宽度方向并且与切断后的玻璃膜(G2a、G2b)的宽度方向中央侧对应的位置配设能够接触支承玻璃膜(G2a、G2b)的第一平台(38)。

技术领域

本发明涉及玻璃膜的制造方法、玻璃卷的制造方法以及玻璃膜的制造装置，特别是涉及用于将带状的玻璃膜切断的技术。

背景技术

如众所周知的那样，实际情况是，在用于液晶显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)的板玻璃、用于有机EL照明的板玻璃、用于作为触摸面板的构成要素的强化玻璃等的制造的板玻璃、以及用于太阳电池的面板等的板玻璃中，薄壁化不断推进。

例如在专利文献1中公开有厚度为几百μm以下的玻璃膜。这种板玻璃也如在该文献所记载的那样，通常是由采用了所谓的溢流下拉法的成形装置连续地成形。

在该情况下，已由溢流下拉法连续地成形的长条的玻璃膜在将其搬运方向从铅垂方向转换为水平方向之后，被搬运装置的横搬运部(水平搬运部)继续向下游侧搬运。在该搬运中途，玻璃膜的宽度方向两端部(厚壁部)被切断去除。之后，玻璃膜被卷绕辊呈卷状卷绕，从而成为玻璃卷。

作为切断玻璃膜的技术，在专利文献1中公开有利用了激光的切断方法。该切断方法是被称作所谓的激光割断的方法，在该切断方法中，将玻璃膜沿其长度方向搬运的同时，利用金刚石刀具等裂纹形成机构在玻璃膜形成初始裂纹，之后对该部分照射激光并进行加热，之后，利用冷却机构对已加热的部分进行冷却。由此，在玻璃膜产生热应力，在该热应力的作用下使初始裂纹发展，从而该玻璃膜被切断。

在对厚度为200μm以下的超薄型的玻璃膜进行搬运的同时利用上述方法进行切断的情况下，在玻璃膜的搬运中可能在该玻璃膜产生无数的褶皱。存在如下的问题，当在该褶皱与激光的照射位置重叠的状态下进行玻璃膜的切断时，在由切断产生的玻璃膜的端面残留由褶皱引起的不良部分。

因此，在专利文献2中提出一种玻璃膜的制造方法，包括对在规定的搬运方向上搬运的带状的玻璃膜照射激光从而将玻璃膜切断的切断工序，在该玻璃膜的制造方法中，在切断工序中，利用具有开口部的平台支承玻璃膜的下表面，并且利用开口部吸引玻璃膜的同时，对玻璃膜照射激光。根据该结构，通过利用平台的开口部对被沿着搬运方向搬运的带状的玻璃膜的一部分进行吸引，从而能够防止在被吸引的部分产生褶皱，或者能够使在玻璃膜产生的褶皱消失。因此，通过对玻璃膜的吸引部分照射激光并进行切断，从而能够期待防止切断面中的不良的产生的效果。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-240883号公报

专利文献2：国际公开2019/049646号公报

发明内容

发明要解决的课题