[发明专利]真空工艺室的进气阀

权利要求书

1.一种用于将工艺气体受控地输入真空工艺室的进气阀(1,100)，其中,所述进气阀(1,100)包括：

-气体流通单元(2,102)，所述气体流通单元(2,102)具有进气口(21,121)、出气口(22,122)和自由接近所述进气口(21,121)和所述出气口(22,122)的内体积(23)，其中，所述气体流通单元包括在所述内体积(23)中的密封面(24,124)，

-调节装置(3,103)，所述调节装置(3,103)具有调节单元(31)，其中，所述调节单元(31)突入所述内体积(23)中且在所述调节装置(3,103)中以可调节的方式安装在所述气体流通单元(2,102)以外，其中，所述调节单元(31)具有被布置在所述内体积(23)内的板(32,132)，其中，所述板(32,132)能通过所述调节装置(3,103)被置入关闭位置，在所述关闭位置中所述板(32,132)靠置在所述密封面(24,124)上且因此防止气体流动，并且其中，所述板能通过所述调节装置(3,103)被置入打开位置，在所述打开位置中所述板(32,132)与所述密封面(24,124)间隔开且因此允许气体流动，

-第一柔性密封件(41,141)，所述第一柔性密封件(41,141)被附接至所述气体流通单元(2,102)和所述调节单元(31)并相对于所述内体积(23)密封所述调节装置(3,103)，和

-位置确定单元(5,105)，所述位置确定单元(5,105)被布置在所述调节装置(3,103)上或被布置在所述调节装置(3,103)中并适于确定所述调节单元(31)的相对于所述板(32,132)具有固定局部关系的部分的位置。

2.根据权利要求1所述的进气阀(1,100)，其中，所述进气阀(1,100)包括第二柔性密封件(42)，并且所述第一柔性密封件和所述第二柔性密封件体现为两个柔性密封件(41,42)，这两个柔性密封件(41,42)分别附接至所述气体流通单元(2,102)和所述调节单元(31)，由此密封所述内体积(23)。

3.根据权利要求1或2所述的进气阀(1,100)，其中，所述第一柔性密封件(41)和/或所述第二柔性密封件(42)被附接至所述板(32,132)和所述气体流通单元(2,102)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，所述密封件(41,42)中的一者或两者呈膜、尤其是呈金属膜状形成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，所述板(32,132)在所述关闭位置中通过预紧被压靠到所述密封面(24,124)上，其中，所述预紧至少部分由至少其中一个所述密封件和/或至少部分通过被布置在所述内体积之外的预紧装置提供。

6.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，所述板(32,132)和/或所述密封面(24)具有在所述关闭位置中被压缩的密封圈。

7.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，这两个所述密封件(41,42)被彼此相互预紧，从而在所述调节单元(31)的调节的情况下没有通过所述密封件而产生或仅产生相对低的阻力。

8.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，所述密封面(24)、所述板(32,132)和所述密封件(41,42)具有圆形横截面，其中，所述内体积至少局部呈柱形，并且其中，所述密封面由所述内体积中的肩部形成。

9.根据权利要求8所述的进气阀，其中，所述内体积(23)的柱形形状由作为罩面的所述气体流通单元和作为底面的所述密封件形成，其中，所述进气口和所述出气口经由所述罩面自由接近所述内体积。

10.根据前述权利要求中任一项所述的进气阀(1,100)，其中，所述调节装置(3,103)是电动的或气动的。