[发明专利]具有梯度折射率的有机发光二极管光提取层在审
申请号: | 202080081553.8 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN114747038A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 于刚;陈重嘉;林宛瑜;房贤圣;徐立松;郭秉圣;罗伯特·简·维瑟 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 梯度 折射率 有机 发光二极管 提取 | ||
1.一种有机发光二极管(OLED)结构,包括:
OLED层堆叠,所述OLED层堆叠包括具有平坦部分的发光区;和
光提取层,所述光提取层包括设置在所述OLED层堆叠的所述发光区上方的UV固化油墨,所述光提取层沿垂直于所述平坦部分的轴具有折射率梯度。
2.如权利要求1所述的结构,其中所述光提取层的所述折射率随着距所述平坦部分的距离而减小。
3.如权利要求1所述的结构,其中所述光提取层包括子层堆叠,其中所述堆叠中的相继子层具有不同的折射率。
4.如权利要求1所述的结构,所述结构包括在所述光提取层与所述OLED层堆叠之间的UV阻挡层。
5.如权利要求4所述的结构,其中所述LEL层的厚度为至多5μm,并且所述UV阻挡层的厚度为50-500nm。
6.如权利要求1所述的结构,所述结构进一步包括介电层,所述介电层具有阱结构阵列,其中每个阱结构包括倾斜侧壁和底部,并且所述阱结构由平台隔开,并且其中每个阱至少部分被所述光提取层填充。
7.如权利要求6所述的结构,所述结构进一步包括镜层,所述镜层在所述介电层与所述OLED层堆叠之间。
8.如权利要求1所述的结构,其中所述光提取层在基质材料中包括有机金属分子或金属氧化物纳米粒子。
9.如权利要求8所述的结构,其中所述有机金属分子或金属氧化物纳米粒子的载量沿着垂直于所述平坦部分的所述轴变化,以提供所述折射率梯度。
10.如权利要求8所述的结构,其中所述有机金属分子或金属氧化物纳米粒子包括ZrO、ZrOC、AlO、AlOC、TiO、TiOC、ZnO或ZnOC中的一种或多种。
11.一种制造有机发光二极管(OLED)结构的方法,所述方法包括:
在OLED层堆叠上的UV阻挡层上沉积不同折射率的一系列UV可固化流体层;和
用UV光将所述UV可固化流体层固化,以形成光提取层(LEL),所述光提取层沿垂直于所述OLED层堆叠的发光区的平坦部分的轴具有折射率梯度。
12.如权利要求11所述的方法,其中沉积所述系列UV可固化流体层包括从喷嘴喷射UV可固化流体的液滴。
13.如权利要求12所述的方法,其中所述液滴被喷射以至少部分地填充介电层中的多个阱。
14.如权利要求13所述的方法,其中沉积所述UV可固化流体层包括:在每个阱中相继形成多个子层。
15.如权利要求14所述的方法,其中形成所述多个子层的一子层的步骤包括:将所述UV可固化流体的一个或多个液滴喷射到所述阱中并在形成后续子层之前固化所述流体。
16.如权利要求11所述的方法,其中所述液滴包括有机金属分子或金属氧化物纳米粒子的溶液。
17.如权利要求16所述的方法,其中用于所述系列层中的不同层的液滴在所述溶液中具有不同浓度的有机金属分子或金属氧化物纳米粒子以提供不同折射率。
18.如权利要求11所述的方法,所述方法包含:沉积具有相继减小的折射率的所述系列层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择