[发明专利]用于改善的热均匀性与轮廓控制的线性灯阵列

权利要求书

1.一种用于在一处理腔室中使用的上反射器组件，包含：

反射器安装环；及

上反射器板，所述上反射器板耦接至所述反射器安装环，并具有上表面和下表面，其中所述下表面包括多个线性通道，所述多个线性通过基本彼此平行地延伸跨过所述下表面，并且其中所述上表面包含空气冷却狭槽，所述空气冷却狭槽从所述上表面延伸到所述下表面。

2.根据权利要求1所述的上反射器组件，其中所述空气冷却狭槽包括多个第一狭槽和多个第二狭槽，所述多个第一狭槽被配置为将空气流引导朝向多个线性加热灯，所述多个第二狭槽被配置为将空气流引导朝向所述处理腔室的上圆顶。

3.根据权利要求2所述的上反射器组件，其中所述多个第一狭槽相对于所述上反射器板224的所述上表面以小于90度的角度延伸。

4.根据权利要求1所述的上反射器组件，其中所述上表面包括多个冷却剂通道。

5.根据权利要求1所述的上反射器组件，其中所述多个线性通道具有不同的横截面形状。

6.根据权利要求1所述的上反射器组件，其中所述多个线性通道具有以下横截面的至少一者：U形横截面、V形横截面、椭圆形横截面、拋物线形横截面或矩形横截面。

7.根据权利要求1所述的上反射器组件，进一步包含：内壳体，所述内壳体耦接至所述反射器安装环；及顶板，所述顶板耦接至所述内壳体，其中所述顶板包括空气入口，所述空气入口被配置为促进空气流通过所述内壳体并通过所述空气冷却狭槽。

8.根据权利要求7所述的上反射器组件，进一步包含：一个或多个流转向叶片，所述一个或多个流转向叶片设置在所述顶板和所述上反射器板之间，以将来自所述空气入口的所述空气流引导至所述上反射器板的各个区域。

9.一种上部灯模块，包含：

上反射器组件，所述上反射器组件包括：反射器安装环，所述反射器安装环耦接至上反射器板，所述上反射器板具有上表面和下表面，其中所述下表面包括多个线性通道，所述多个线性通道基本彼此平行地延伸跨过所述下表面，且其中所述上反射器板包括空气冷却狭槽，所述空气冷却狭槽从所述上表面延伸到所述下表面；及

护罩组件，所述护罩组件包括：外壳体及多个线性加热灯，所述外壳体耦接至灯安装环，所述多个线性加热灯耦接至所述灯安装环，其中所述灯安装环可移除地耦接至所述反射器安装环，且其中所述多个线性加热灯在所述多个线性通道内延伸，以将热量反射离开所述多个线性通道的侧壁。

10.根据权利要求9所述的上部灯模块，其中所述灯安装环包括对准销，所述对准销被配置成延伸穿过所述反射器安装环中的开口，以将所述灯安装环对准并且可移除地耦接至所述反射器安装环。

11.根据权利要求9所述的上部灯模块，其中所述多个线性加热灯的每个线性灯在第一端处经由灯夹持机构耦接至所述灯安装环，其中所述灯夹持机构包括安装块，所述安装块具有夹具，所述夹具可旋转地耦接到所述安装块，其中所述安装块的上表面经调整轮廓以定位每个线性灯。

12.根据权利要求11所述的上部灯模块，进一步包含：后部块，所述后部块具有设置在所述安装块中的狭槽，其中所述线性灯的所述第一端设置在所述狭槽中，以防止所述线性灯相对于所述安装块的旋转运动。

13.根据权利要求9所述的上部灯模块，其中所述上反射器组件包括顶板，所述顶板具有空气入口，且所述护罩组件包括排气端口，且其中所述上反射器组件和所述护罩组件被配置成使空气从所述空气入口经由所述上反射器板的所述空气冷却狭槽流到所述排气端口。