[发明专利]脉冲宽度扩展装置和电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种脉冲宽度扩展装置，其具有：

偏振分束器，其使线偏振的脉冲激光中的第一偏振方向的脉冲激光以第一透射率透过，使与所述第一偏振方向正交的第二偏振方向的脉冲激光以第一反射率反射并以第二透射率透过；以及

转印光学系统，其使由所述偏振分束器反射后的脉冲激光在多个凹面镜反射而返回到所述偏振分束器，

所述偏振分束器对从外部输入的输入脉冲激光中的以所述第二透射率透过的所述第二偏振方向的脉冲激光和从所述转印光学系统返回的脉冲激光的一部分脉冲激光进行合成并输出，

所述转印光学系统具有：

1/4波长镜对，其包含使脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第一1/4波长镜和使在所述第一1/4波长镜反射后的脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第二1/4波长镜；以及

反射镜对，其被配置于所述1/4波长镜对的前后的光路或所述1/4波长镜对之间的光路上，

所述转印光学系统将所述输入脉冲激光在所述偏振分束器中的像在所述1/4波长镜对之间的光路上等倍地转印为第一转印像，将所述第一转印像在所述偏振分束器等倍地转印为第二转印像。

2.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述反射镜对具有第一反射镜和第二反射镜，

所述第一反射镜使由所述第一1/4波长镜反射后的脉冲激光朝向所述第二反射镜反射，

所述第二反射镜使由所述第一反射镜反射后的脉冲激光朝向所述第二1/4波长镜反射。

3.根据权利要求2所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述转印光学系统在所述第一反射镜与所述第二反射镜的中间转印所述第一转印像。

4.根据权利要求2所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述第一1/4波长镜和所述第二1/4波长镜使脉冲激光的光路以45度的角度折曲。

5.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述脉冲宽度扩展装置具有变角台，该变角台载置所述1/4波长镜对和所述反射镜对，

所述变角台将所述1/4波长镜对的入射出射光轴设为旋转轴。

6.根据权利要求5所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述脉冲宽度扩展装置具有XYZ台，该XYZ台能够在彼此正交的3个方向上移动，

所述变角台被载置于所述XYZ台。

7.根据权利要求2所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述脉冲宽度扩展装置具有：

第一变角台，其载置所述第一1/4波长镜和所述第一反射镜；

第二变角台，其载置所述第二1/4波长镜和所述第二反射镜，

所述第一变角台将所述第一1/4波长镜的入射出射光轴设为旋转轴，

所述第二变角台将所述第二1/4波长镜的入射出射光轴设为旋转轴。

8.根据权利要求7所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述脉冲宽度扩展装置具有：

第一旋转台，其载置所述第一变角台；以及

第二旋转台，其载置所述第二变角台，

所述第一旋转台具有通过所述第一1/4波长镜的入射出射光轴与所述第一反射镜的入射出射光轴的交点的旋转轴，

所述第二旋转台具有通过所述第二1/4波长镜的入射出射光轴与所述第二反射镜的入射出射光轴的交点的旋转轴。

9.根据权利要求1所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述偏振分束器被配置成相对于所述输入脉冲激光的光轴倾斜45度。

10.根据权利要求9所述的脉冲宽度扩展装置，其中，

所述1/4波长镜对将由所述偏振分束器反射后的脉冲激光的所述第二偏振方向转换为所述第一偏振方向并输出，

所述偏振分束器使从所述转印光学系统返回的所述第一偏振方向的脉冲激光以第一透射率透过而再次入射到所述转印光学系统。