[发明专利]FOUP移载装置

权利要求书

1.一种FOUP移载装置，该FOUP移载装置设置于具有一个或更多个装载端口的输送装置的上述装载端口附近，在与上述装载端口之间进行FOUP的交接，其特征在于，

上述FOUP移载装置具有第一通信装置，并且连接有上述装载端口所具有的第二通信装置，从而代替上述装载端口来进行在上述装载端口与OHT输送台车所具有的第三通信装置之间进行的通信。

2.根据权利要求1所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述FOUP移载装置还具有与半导体制造工厂所具有的主计算机进行通信的控制PC。

3.根据权利要求1或2所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述FOUP移载装置还具有在与上述装载端口之间交换FOUP移载信号的通信机构。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述第一通信装置与上述第二通信装置以及第三通信装置是光I/O通信装置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述FOUP移载装置与上述搬送装置所具有的多个装载端口的排列一致，且上述多个装载端口与上述FOUP移载装置的排列配置于OHT轨道的正下方。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述FOUP移载装置配置于：与设置于上述OHT轨道的正下方的所述多个装载端口的排列不一致的位置，且与上述OHT轨道不同的第二OHT轨道的正下方。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的FOUP移载装置，其特征在于，上述FOUP移载装置具有：将上述FOUP载置于预定位置的载置台、对载置于上述载置台的上述FOUP进行保持的保持部、使上述保持部在大致圆弧状的轨道上移动的臂部、以及使上述臂部升降移动的升降机构。