[发明专利]用于辊运输系统的载体、辊运输系统和具有辊运输系统的真空处理设备

权利要求书

1.一种用于在辊运输轨道(200a、200b)上沿运输方向(X)运输的载体(100)，所述载体(100)包括：

第一辊接触表面(120a)，所述第一辊接触表面被构造为在所述辊运输轨道(200a、200b)上的至少一个第一辊(210a、210b)上支撑所述载体(100)，以及

第二辊接触表面(120b)，所述第二辊接触表面被构造为在所述辊运输轨道(200a、200b)上的至少一个第二辊(210a、210b)上支撑所述载体(100)；

其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上分开，其中在所述第一辊接触表面和所述第二辊接触表面之间存在空间。

2.如权利要求1所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)在所述运输方向(X)上具有第一长度，并且所述第二辊接触表面(120b)在所述运输方向(X)上具有第二长度，其中所述空间的长度等于或大于所述第一长度的一半和/或所述第二长度的一半。

3.如权利要求2所述的载体(100)，其中所述第一长度和所述第二长度大于所述辊运输轨道(200a、200b)的相邻辊(210a、210b)之间的长度。

4.如权利要求1至3中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)布置在所述载体(100)的前端，所述第二辊接触表面(120b)布置在所述载体(100)的后端，并且所述空间布置在所述载体(100)的中间。

5.如权利要求1至4中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)包括在相应的所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)的前端上的倾斜表面和/或在相应所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)的后端上的倾斜表面。

6.如权利要求1至5中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)经由柔性装置(124)附接至所述载体(100)。

7.如权利要求1至6中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)经由枢轴(125)附接至所述载体(100)，使得所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)能够在横向方向(Z)上绕轴旋转，其中所述横向方向(Z)垂直于所述运输方向(X)。

8.如权利要求1至7中任一项所述的载体(100)，其中所述第一辊接触表面(120a)和所述第二辊接触表面(120b)为用于接触圆柱形辊的平坦接触表面，或者所述第一辊接触表面和所述第二辊接触表面为用于接触凹面辊的凸接触表面。

9.如权利要求1至8中任一项所述的载体(100)，其中所述载体(100)被配置为以垂直或接近垂直的取向运输。

10.如权利要求1至9中任一项所述的载体(100)，其中所述载体(100)被配置为在真空处理设备中支撑基板(S)或掩模。

11.一种辊运输系统，包括

辊运输轨道(200a、200b)，所述辊运输轨道包括多个辊(210a、210b)；以及

如权利要求1至10中任一项所述的载体(100)。

12.如权利要求11所述的辊运输系统，其中：

所述载体(100)以垂直或接近垂直的取向被取向；

所述辊运输轨道(200a、200b)布置在所述载体(100)的底部；并且

所述辊运输系统进一步包括布置在所述载体(100)的上部的上运输轨道(400)，所述上运输轨道被配置为将所述载体(100)保持在所述垂直或接近垂直的取向。