[发明专利]用于衬底处理系统的高精度边缘环对中

权利要求书

1.一种用于等离子处理系统的边缘环对中系统，其包括：

处理室，其包括衬底支撑件和R个边缘环形升降销，其中R是大于或等于3的整数；

边缘环，其包括位于其底面的P个凹槽，其中P为大于或等于R的整数；

包括末端执行器的机械手臂；

光学传感器；以及

控制器，其被配置为：

使所述光学传感器感测所述边缘环在所述末端执行器上的第一位置；

使所述机械手臂将所述边缘环传送到所述边缘环升降销上的第一中心位置；

从所述边缘环升降销中取出所述边缘环；以及

使所述光学传感器感测所述边缘环在所述末端执行器上的第二位置。

2.根据权利要求1所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述第二位置和所述第一位置之间的差产生第一偏移。

3.根据权利要求2所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述第一中心位置和所述第一偏移生成用于所述边缘环的第一调整后的中心位置。

4.根据权利要求3所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为：

使所述机械手臂基于所述第一调整后的中心位置将所述边缘环传送到所述边缘环升降销上；

从所述边缘环升降销取出所述边缘环；以及

使所述光学传感器感测所述边缘环在所述机械手臂上的第三位置。

5.根据权利要求4所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述第三位置和所述第二位置之间的差产生第二偏移。

6.根据权利要求5所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述第一调整后的中心位置和所述第二偏移来生成第二调整后的中心位置。

7.根据权利要求6所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为：

使所述机械手臂基于所述第二调整后的中心位置将所述边缘环传送到所述边缘环升降销上；

从所述边缘环升降销取出所述边缘环；以及

使所述光学传感器感测所述边缘环在所述机械手臂上的第四位置。

8.根据权利要求7所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述第四位置和所述第三位置之间的差产生第三偏移。

9.根据权利要求8所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为将所述第三偏移与预定偏移进行比较。

10.根据权利要求8所述的边缘环对中系统，其中，所述控制器还被配置为基于所述比较来确定所述边缘环是否居中。

11.根据权利要求1所述的边缘环对中系统，其中，所述P个凹槽为“V”形。

12.根据权利要求1所述的边缘环对中系统，其中，所述P个凹槽围绕所述边缘环的所述底面间隔360°/P。

13.根据权利要求1所述的边缘环对中系统，其中，所述P个凹槽为“V”形，并且其中，所述P个凹槽的最底部部分沿径向方向延伸。