[发明专利]谐振器以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振器，其中，具备：

振动部，包括多个振动臂、和基部，所述多个振动臂是分别具有固定端的三个以上的多个振动臂，且至少两个以不同的相位进行面外弯曲，所述基部具有供所述多个振动臂各自的所述固定端连接的一端、和与该一端对置的另一端；

保持部，构成为保持所述振动部；以及

两个支承臂，各自的一端与所述保持部连接，

所述两个支承臂各自的另一端与所述基部的所述另一端的一个部位连接。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中，

所述两个支承臂各自的所述另一端被连结，

所述谐振器还具备连接臂，该连接臂将被连结的所述两个支承臂各自的所述另一端与所述基部的所述另一端连接。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中，

在俯视观察时，所述两个支承臂各自的所述另一端与所述基部的所述另一端的中央的一个部位连接。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的谐振器，其中，

从所述基部的所述一端朝向所述另一端的方向的长度方向上的基部长的长度相对于与所述基部的所述长度方向正交的宽度方向上的基部宽的长度为0.3倍以下。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中，

所述基部长的长度为90μm以下，所述基部宽的长度为300μm以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的谐振器，其中，

所述两个支承臂各自的支承臂长的长度相对于支承臂宽的长度为4倍以上。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中，

所述支承臂长的长度为300μm以下，所述支承臂宽的长度为60μm以下。

8.一种谐振装置，其中，

具备权利要求1～7中任一项所述的谐振器。

9.根据权利要求8所述的谐振装置，其中，

还具备盖体。