[发明专利]显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种显示装置，其包括：

基底基板；

薄膜晶体管层，其在所述基底基板上依次设置有半导体层、栅极绝缘膜、第一金属层、第一层间绝缘膜、第二金属层、第二层间绝缘膜以及第三金属层，并按每个子像素配置有薄膜晶体管以及电容器；以及

发光元件层，其设置在所述薄膜晶体管层上，并按每个所述子像素配置有发光元件，

所述薄膜晶体管包括：所述半导体层；以覆盖该半导体层的方式设置的所述栅极绝缘膜；以及栅极电极，其作为所述第一金属层设置在该栅极绝缘膜上，并以在俯视下与该半导体层的一部分重叠的方式配置成岛状，

所述显示装置的特征在于，

所述电容器包括：所述栅极电极；设置在该栅极电极上的所述第一层间绝缘膜；电容电极，其作为所述第二金属层设置在该第一层间绝缘膜上，并以在俯视下与该栅极电极重叠的方式配置；以及电容布线，其作为所述第三金属层设置在该电容电极上，并以在俯视下与该电容电极以及该栅极电极重叠的方式配置，

所述电容布线与所述电容电极电连接，

在隔着所述第一层间绝缘膜对置配置的所述电容电极以及所述电容布线与所述栅极电极之间形成所述电容器的电容，

所述电容布线的线宽为所述电容电极的线宽以上且所述栅极电极的线宽以下。

2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

所述电容布线沿着所述栅极电极的周端设置于该周端的内侧，

所述电容电极沿着所述电容布线的周端设置于该周端的内侧。

3.根据权利要求1或2所述的显示装置，其特征在于，

在所述第二层间绝缘膜中设置有第一开口部，所述第一开口部在俯视下与所述电容布线重叠并且贯通该第二层间绝缘膜，

所述第一开口部沿着所述电容电极的周端设置，该电容电极或所述第一层间绝缘膜从该第一开口部露出。

4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，

所述第一开口部的外周端在所述电容电极的线宽方向上的长度为所述电容电极的线宽以上且所述栅极电极的线宽以下。

5.根据权利要求3或4所述的显示装置，其特征在于，

所述第一层间绝缘膜从所述第一开口部露出，该第一开口部中的所述电容布线与所述电容电极在同一层中形成。

6.根据权利要求5所述的显示装置，其特征在于，

所述电容电极的线宽和与该电容电极在同一层中形成的部分中的所述电容布线的线宽的总和为所述栅极电极的线宽以下。

7.根据权利要求1或2所述的显示装置，其特征在于，

在所述第二层间绝缘膜中设有第一开口部，所述第一开口部在俯视下与所述电容布线重叠并且贯通该第二层间绝缘膜，

所述第一开口部设为孔状，并从该第一开口部露出所述电容电极。

8.根据权利要求7所述的显示装置，其特征在于，

在所述电容布线的线宽方向上的至少一侧设有在俯视下与所述电容电极不重叠的部分，在该部分中的该电容布线与所述栅极电极之间形成所述电容器的电容的一部分。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的显示装置，其特征在于，

所述薄膜晶体管为驱动用薄膜晶体管。

10.根据权利要求9所述的显示装置，其特征在于，

在所述电容电极中设有第二开口部，所述第二开口部使所述第一层间绝缘膜露出，

在所述第二开口部中的所述第一层间绝缘膜以及所述第二层间绝缘膜中设有接触孔，

在所述第二层间绝缘膜上设有连接布线作为所述第三金属层，所述连接布线与所述栅极电极电连接。

11.根据权利要求10所述的显示装置，其特征在于，

所述电容布线沿着所述栅极电极以及所述第二开口部的周端设置于该周端的内侧，并且以在俯视下与所述连接布线不重叠的方式设置成U字形。