[发明专利]换卷腔室、卷对卷处理系统和连续地提供柔性基板的方法

权利要求书

1.一种用于更换基板卷(10)的换卷腔室(100)，包括：

-可旋转基部构造(110)，所述可旋转基部构造可绕中心轴线(111)旋转，所述基部构造(110)包括：

-第一卷保持器(120)，所述第一卷保持器用于保持第一基板卷(121)；

-第二卷保持器(130)，所述第二卷保持器用于保持第二基板卷(131)；以及

-壁(140)，所述壁用于在所述换卷腔室(100)中提供第一隔室(101)和第二隔室(102)，所述壁(140)布置在所述第一卷保持器(120)与所述第二卷保持器(130)之间。

2.如权利要求1所述的换卷腔室(100)，所述可旋转基部构造(110)安装在中心轴承单元(112)上，所述中心轴承单元具有用于供应线的馈通件(113)。

3.如权利要求1或2所述的换卷腔室(100)，所述壁(140)具有内部中空空间(144)，所述内部中空空间包括一个或多个肋(141)，所述一个或多个肋具有用于供应线的一个或多个开口(142)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括锁定机构(145)，所述锁定机构用于与所述壁(140)接合以锁定所述可旋转基部构造(110)的位置。

5.如权利要求1至4中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括一个或多个可充气密封件(147)，所述一个或多个可充气密封件用于在所述基部构造(110)的所述壁(140)与所述换卷腔室之间提供气密密封。

6.如权利要求1至5中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括：一个或多个第一真空泵(161)，所述一个或多个第一真空泵用于在所述第一隔室(101)中提供真空条件；以及一个或多个第二真空泵(162)，所述一个或多个第二真空泵用于在所述第二隔室(102)中提供真空条件。

7.如权利要求1至6任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括基板连接装置(150)，具体是拼接单元，所述基板连接装置用于将第一柔性基板(11)的第一端与第二柔性基板(12)的第二端连接。

8.如权利要求7所述的换卷腔室(100)，所述基板连接装置(150)包括具有拼接带的辊(151)。

9.如权利要求8所述的换卷腔室(100)，所述辊(151)连接到线性致动器(153)，所述线性致动器用于将具有所述拼接带的所述辊(151)推动到与对向辊(152)接触的所述第一基板上。

10.如权利要求1至9中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括张力测量辊(170)，所述张力测量辊用于测量基板张力，具体是所述张力测量辊(170)布置在基板连接装置(150)上游。

11.如权利要求1至10中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括门(103)，所述门用于提供从大气维持空间(105)到所述第二隔室(102)的通路。

12.如权利要求1至11中任一项所述的换卷腔室(100)，进一步包括基板馈通开口(104)，所述基板馈通开口用于将基板从所述第一隔室提供到基板处理系统的相邻腔室。