[其他]用于处理腔室的腔室元件

权利要求书

1.一种用于处理腔室的腔室元件，所述腔室元件包括：

元件部件主体，所述元件部件主体具有外表面；和

设计复合表面，所述设计复合表面形成在所述外表面上，所述设计复合表面具有由多个第一互连板条形成的第一格子状框架，且其中由所述多个第一互连板条中的三个或更多个板条界定第一开口。

2.如权利要求1所述的腔室元件，其中所述第一格子状框架是与所述元件部件主体相同的一体式整体构造，并且在所述多个第一互连板条的相交处的所述多个第一互连板条的每个板条在所述相交处共用单块的材料。

3.如权利要求1所述的腔室元件，其中所述多个第一互连板条中的每个板条形成连续的特征。

4.如权利要求3所述的腔室元件，其中所述设计复合表面进一步包括：

第一间隔件板条，所述第一间隔件板条在所述第一格子状框架和所述元件部件主体的外表面之间形成，其中所述第一间隔件板条产生间隙而防止所述第一格子状框架接触所述外表面。

5.如权利要求4所述的腔室元件，其中所述设计复合表面进一步包括：

第二格子状框架，所述第二格子状框架形成在所述第一格子状框架上，其中所述第二格子状框架由多个互连的第二板条形成，并且其中由所述多个第二互连板条中的三个或更多个第二板条界定第二开口。

6.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述设计复合表面进一步包括：

第二间隔件板条，所述第二间隔件板条形成在所述第一格子状框架和所述第二格子状框架之间，其中所述第二间隔件板条产生间隙而防止所述第一格子状框架接触所述第二格子状框架。

7.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述第一格子状框架中的所述第一开口的第一形状与所述第二格子状框架中的所述第二开口的第二形状不同。

8.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述第一开口不与所述第二开口对准。

9.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述第一开口中的一个第一开口大于所述第二开口中的相应的一个第二开口。

10.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述第一格子状框架与所述第二格子状框架在形状上基本上相似，并且其中所述第一格子状框架偏移以使所述第一格子状框架与所述第二格子状框架不对准。

11.如权利要求5所述的腔室元件，其中所述第一格子状框架的所述多个第一互连板条不接触所述第二格子状框架的所述多个第二互连板条。

12.如权利要求1所述的腔室元件，其中所述第一开口中的一或多个第一开口具有所述多个第一互连板条中的不同数量的个别板条。

13.如权利要求1所述的腔室元件，其中所述第一格子状框架形成在没有背衬(backing)的套筒中，并且滑动到所述外表面上。

14.如权利要求1所述的腔室元件，其中在所述多个第一互连板条的相交处的所述多个第一互连板条的每个板条在所述相交处共用单块的材料。

15.如权利要求1所述的腔室元件，其中所述腔室元件是沉积环、盖环或杯形线圈间隔件中的一者。