[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其是使用了排列有电子零件的保护片、及冷却板的成膜装置，其特征在于，包括：

板安装部，将所述保护片通过粘着片而粘贴在所述冷却板上；以及

成膜处理部，通过溅射而使成膜材料堆积在所述冷却板上的所述电子零件上来进行成膜；

所述板安装部具有：

顶部与载置台，将所述保护片的外框区域按压在所述冷却板上；

所述顶部的平坦面，以在所述顶部与所述载置台使所述保护片的外框区域已接触所述冷却板的时间点，使所述保护片中的排列所述电子零件的区域与所述冷却板分离的方式保持所述保护片；以及

所述顶部的空气孔与所述载置台的气压供给孔，在通过所述顶部与所述载置台而已将所述保护片的外框区域按压在所述冷却板上的状态下，对所述保护片与所述冷却板之间的空间进行减压；

在所述保护片与所述冷却板之间的空间已得到减压的状态下，所述顶部的平坦面解除所述保护片的保持。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述顶部的平坦面设置在隔着所述保护片与所述冷却板的相反侧，具有：向上吸所述保护片，来使所述冷却板与所述保护片分离的所述空气孔，且

所述空气孔在将所述保护片与所述冷却板之间的所述空间减压成事先设定的压力之前，维持负压。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

使所述空气孔中产生正压，

在已将所述保护片与所述冷却板之间的所述空间减压成事先设定的压力后，所述空气孔从产生负压转变成产生正压，由此对所述保护片赋予朝向所述冷却板的按压力。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述冷却板具有：贯穿板两面的板侧空气孔，

所述载置台具有载置面，在隔着所述冷却板与所述保护片相反侧，载置所述冷却板；所述载置台的气压供给孔设置在所述载置面上，并使负压产生；

通过所述载置台的气压供给孔与所述板侧空气孔，将所述保护片吸引至所述冷却板上。

5.根据权利要求2至3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，还包括：

推杆，构成为：能够贯穿所述载置台、所述冷却板及所述粘着片而出没；所述板安装部具有：所述顶部、所述推杆与所述载置台，作为使所述保护片与所述冷却板接近的驱动部，

所述空气孔从所述保护片与所述冷却板接近之前使负压产生。

6.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，还包括：

推杆，构成为：能够贯穿所述载置台、所述冷却板及所述粘着片而出没；

所述板安装部具有：所述顶部、所述推杆与所述载置台，作为使所述保护片与所述冷却板接近的驱动部，

所述空气孔从所述保护片与所述冷却板接近之前使负压产生。