[发明专利]特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置

权利要求书

1.一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，包括如下步骤：

获取样品片的前值和标准片的前值；

根据如下公式计算标准片的标准值：

OPAL_target＝QC_target×OPAL_actual/QC_actual

式中，OPAL_target表示标准片的标准值，QC_actual表示样品片的前值，QC_target表示样品片的目标值，所述样品片的目标值是指所述样品片上的样品图案在制造过程中确定的原始特征尺寸，OPAL_actual表示标准片的前值；

将所述标准片的标准值输入特征尺寸扫描电子显微镜机台内置的自动校准程序中，并采用所述标准片执行所述自动校准程序，进行所述特征尺寸扫描电子显微镜机台的自动校准；

采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值；

判断所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。

2.根据权利要求1所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，获取样品片前值和标准片的前值的具体步骤包括：

采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片中的样品图案的特征尺寸，作为所述样品片的前值；

采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取标准片中的标准图案的特征尺寸，作为所述标准片的前值。

3.根据权利要求2所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值的具体步骤包括：

采用经所述机台自动校准程序校准后的所述特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片中的所述样品图案的特征尺寸，作为所述样品片的测试值。

4.根据权利要求2所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值之前，还包括如下步骤：

检测所述样品片上是否存在静电荷，若是，则释放所述静电荷。

5.根据权利要求1所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，在确认所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值超出所述预设范围之后，还包括如下步骤：

检测所述样品片上是否存在静电荷，若是，则释放所述静电荷；

采用校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值；

判断释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。

6.根据权利要求5所述的特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，其特征在于，若确认释放所述静电荷之后的所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值仍超出所述预设范围，则执行如下步骤：

以校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取的所述样品片的测试值作为所述样品片的前值、以校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取的所述标准片的测试值作为所述标准片的前值，根据如下公式计算新的标准片的标准值：

OPAL_target＝QC_target×OPAL_actual/QC_actual

式中，OPAL_target表示标准片的标准值，QC_actual表示样品片的前值，QC_target表示样品片的目标值，OPAL_actual表示标准片的前值；

根据所述标准片的标准值再次自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；

采用再次自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片新的测试值；

判断所述样品片新的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。