[发明专利]特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置

说明书

本发明涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法包括如下步骤：获取样品片的前值和标准片的前值；根据如下公式计算标准片的标准值：OPAL_target＝QC_target×OPAL_actual/QC_actual，式中，OPAL_target表示标准片的标准值，QC_actual表示样品片的前值，QC_target表示样品片的目标值，OPAL_actual表示标准片的前值；根据标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片的测试值；判断样品片的测试值与样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。本发明节约了校准时间，提高了CDSEM机台的校准效率，并改善了CDSEM机台测量结果的准确性和可靠性。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置。

背景技术

CDSEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope，特征尺寸扫描电子显微镜)机台是在半导体制程过程中用于测量形成在晶圆上的图案的特征尺寸的仪器。为了确保CDSEM的精度，从而保证晶圆上图案的特征尺寸测量结果的准确度，需要对CDSEM机台进行周期性的维护、保养，例如至少维持月度的维护、保养，以满足机台最佳的性能。

对CDSEM机台进行维护、保养的过程中，CDSEM机台的精度校准是至关重要的一个步骤。当前对CDSEM机台的校准时间约为6.5h，相比于其他量测设备，较长的校准时间会导致CDSEM机台的利用率大大降低，从而限制了半导体制程效率的提高。

因此，如何提高CDSEM机台的校准效率，节省校准时间，从而提高半导体制程效率，是当前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法及校准装置，用于解决现有技术中特征尺寸扫描电子显微镜机台校准效率较低的问题，以节省校准时间，从而提高半导体制程效率。

为了解决上述问题，本发明提供了一种特征尺寸扫描电子显微镜机台的校准方法，包括如下步骤：

获取样品片的前值和标准片的前值；

根据如下公式计算标准片的标准值：

OPAL_target＝QC_target×OPAL_actual/QC_actual

式中，OPAL_target表示标准片的标准值，QC_actual表示样品片的前值，QC_target表示样品片的目标值，OPAL_actual表示标准片的前值；

根据所述标准片的标准值自动校准特征尺寸扫描电子显微镜机台；

采用自动校准后的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取所述样品片的测试值；

判断所述样品片的测试值与所述样品片的目标值之间的差值是否在预设范围内，若是，则确认所述特征尺寸扫描电子显微镜机台校准完成。

可选的，获取样品片前值和标准片的前值的具体步骤包括：

采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取样品片中的样品图案的特征尺寸，作为所述样品片的前值；

采用校准前的特征尺寸扫描电子显微镜机台获取标准片中的标准图案的特征尺寸，作为所述标准片的前值。