[发明专利]一种光电二极管

权利要求书

1.一种光电二极管，其特征在于：包括N电极、N型衬底、反射层、感光层、P型层和P电极，N型衬底具有顶面、底面和供光入射的侧面，在侧面开口形成第一入射面和台面，台面低于顶面并且外凸于顶面，顶面、第一入射面和台面形成Z字形，第一入射面和台面形成的夹角为θ，0＜θ＜90°，感光层、P型层和P电极依次层叠在顶面上，反射层层叠在台面上，N电极覆盖底面。

2.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：反射层的材料为Au或者Ag。

3.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：反射层的厚度为50nm。

4.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：N型衬底的材料为InP或者GaAs。

5.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：θ为30°。

6.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：台面到顶面的垂直距离≥2μm。

7.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：N型衬底还具有第二入射面，第二入射面位于侧面上并与开口相连。

8.根据权利要求1所述的一种光电二极管，其特征在于：台面与顶面平行。