[发明专利]制备三维手性U型结构的方法在审
申请号: | 202110019072.0 | 申请日: | 2021-01-07 |
公开(公告)号: | CN112877643A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 吕岩 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 三维 手性 结构 方法 | ||
1.一种制备三维手性U型结构的方法,其特征在于,方法包括:
在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板;
使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板;
使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高;
使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板的步骤包括:
在器皿中注入去离子水;
将聚苯乙烯小球悬浮液与酒精进行混合加入到所述去离子水中;
将所述玻璃片放置所述器皿中,且处于所述去离子水液面之下的位置,使得所述聚苯乙烯小球悬浮液与所述酒精保留在所述玻璃片上;
烘干所述玻璃片,得到贴合在所述玻璃片上的聚苯乙烯小球模板。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板步骤包括:
使用反应离子束刻蚀装置对准所述聚乙烯小球模板;
在预设位置对所述聚乙烯小球进行刻蚀,得到具有间隙的聚乙烯小球模板。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高的步骤之后还包括:
将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,进行蒸镀,其中,倾斜角为θ。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,进行蒸镀,其中,倾斜角为θ的步骤包括:
将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,使用二氧化硅进行第一次蒸镀;
将聚苯乙烯小球模板旋转120度,使用二氧化硅进行第二次蒸镀;
将聚苯乙烯小球模板旋转120度,使用二氧化硅进行第三次蒸镀。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构的步骤包括:
沿聚苯乙烯小球模板对角线方向,将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,其中,倾斜角为α。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述沿聚苯乙烯小球模板对角线方向,将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置,其中,倾斜角为α的步骤包括:
使用金属对聚苯乙烯小球模板进行第四次蒸镀,得到三维手性U型结构的第一条边;
将聚苯乙烯小球模板旋转180度,使用金属在第一条边的一端进行第五次蒸镀,得到三维手性U型结构的第二条边;
将聚苯乙烯小球模板旋转90度,使用金属在第二条边远离第一条边的位置进行第六次蒸镀,得到三维手性U型结构的第三条边。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构步骤之后还包括:
将所述三维手性U型结构从所述聚苯乙烯小球模板取下。
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