[发明专利]制备三维手性U型结构的方法

说明书

本发明涉及一种制备三维手性U型结构的方法，具体而言，涉及手性结构领域，本申请通过利用聚苯乙烯小球模板中小球之间的对角的间隙做模板，并利用倾斜蒸镀玻璃板的方法加高聚苯乙烯小球模板中小球的高度，使得小球之间的间距大阴影效应不明显,可操作空间变大，作为模板蒸镀金属结构，并且在现有技术的制作方法的基础上减少了涂覆聚甲基丙烯酸甲酯材料、氧刻蚀和除胶的步骤，使得步骤更加简化，进一步的减少了操作难度，也节约了制作成本。

技术领域

本发明涉及手性结构领域，具体而言，涉及一种制备三维手性U型结构的方法。

背景技术

手性结构一词指一个物体不能与其镜像相重合。如我们的双手，左手与互成镜像的右手不重合的结构，其中具有手性的三维微纳结构在光学中的应用广泛。

一般的大面积制备具有手性的三维微纳结构的步骤是：旋涂PMMA-铺小球-镀Au膜-粘走PS小球-氧等离子刻蚀-垂直蒸镀金属微纳结构-除胶，共7步完成制备。

但是由于现有技术中，步骤较多，且其中氧等离子刻蚀的成本高，技术难度较大，使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种制备三维手性U型结构的方法，以解决现有技术中步骤较多，且其中氧等离子刻蚀的成本高，技术难度较大，使得制备具有手性的三维微纳结构的成本提高不利于生产的问题。

为实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种制备三维手性U型结构的方法，方法包括：

在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液，得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板；

使用反应离子束刻蚀技术将所述聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀，得到具有间隙的聚乙烯小球模板；

使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高；

使用蒸镀技术倾斜蒸镀得到三维手性U型结构。

可选地，在玻璃片的一侧使用聚苯乙烯小球和酒精的混合溶液，得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板的步骤包括：

在器皿中注入去离子水；

将聚苯乙烯小球悬浮液与酒精进行混合加入到去离子水中；

将玻璃片放置器皿中，且处于去离子水液面之下的位置，使得聚苯乙烯小球悬浮液与酒精保留在玻璃片上；

烘干玻璃片，得到贴合在玻璃片上的聚苯乙烯小球模板。

可选地，该使用反应离子束刻蚀技术将聚乙烯小球模板中的聚乙烯小球进行刻蚀，得到具有间隙的聚乙烯小球模板步骤包括：

使用反应离子束刻蚀装置对准聚乙烯小球模板；

在预设位置对聚乙烯小球进行刻蚀，得到具有间隙的聚乙烯小球模板。

可选地，使用蒸镀技术在聚苯乙烯小球模板上对聚苯乙烯小球模板进行增高的步骤之后还包括：

将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置，进行蒸镀，其中，倾斜角为θ。

可选地，将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置，进行蒸镀，其中，倾斜角为θ的步骤包括：

将聚苯乙烯小球模板与蒸镀装置倾斜设置，使用二氧化硅进行第一次蒸镀；

将聚苯乙烯小球模板旋转120度，使用二氧化硅进行第二次蒸镀；

将聚苯乙烯小球模板旋转120度，使用二氧化硅进行第三次蒸镀。