[发明专利]一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置

权利要求书

1.一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，包括研磨混料仓(1)，其特征在于：所述研磨混料仓(1)底部两端均固定连接有支撑斜板(2)，所述研磨混料仓(1)顶部设有电机(3)，所述电机(3)两侧均设有进料漏斗(4)，所述进料漏斗(4)底部固定连接有进料管道(5)，所述进料管道(5)与研磨混料仓(1)顶部固定连接，所述进料管道(5)一侧固定连接有密封阀，所述研磨混料仓(1)内侧设有研磨混合机构；

所述研磨混合机构包括研磨仓(6)和弧形过滤网(7)，所述研磨仓(6)位于研磨混料仓(1)内侧顶部，所述研磨仓(6)顶部固定连接有环形连接板，所述研磨混料仓(1)顶部内侧固定连接有限位滑框(8)，所述限位滑框(8)底部与环形连接板顶部固定连接，所述弧形过滤网(7)位于研磨仓(6)底部，所述研磨仓(6)与弧形过滤网(7)固定连接，所述弧形过滤网(7)底部表面开设有第一贯穿孔，所述研磨仓(6)内侧设有研磨球(10)，所述电机(3)输出端固定连接有螺旋竖杆(9)，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨混料仓(1)顶部与研磨球(10)固定连接，所述螺旋竖杆(9)贯穿研磨球(10)与第一贯穿孔活动套接，所述研磨仓(6)底部设有活动筛选组件，所述研磨混料仓(1)内侧底部设有搅拌混合组件。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述活动筛选组件包括活动方板(11)和限位横板(12)，所述活动方板(11)位于研磨仓(6)底部，所述活动方板(11)与研磨混料仓(1)内侧滑动连接，所述活动方板(11)顶部表面开设有圆形槽(13)，所述圆形槽(13)内侧设有第一过滤网(14)，所述第一过滤网(14)与活动方板(11)固定连接，所述第一过滤网(14)顶部外侧固定连接有环形挡板(15)，所述限位横板(12)的数量设置为两个，两个所述限位横板(12)分别位于环形挡板(15)顶部两侧。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述限位横板(12)底部两端均固定连接有限位弹簧(16)，所述限位弹簧(16)底部设有限位竖杆(17)，所述限位竖杆(17)顶部固定连接有环形限位板(18)。

4.根据权利要求2所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述第一过滤网(14)顶部表面开设有第二贯穿孔(19)，所述第二贯穿孔(19)内侧设有活动螺套(20)，所述活动螺套(20)与第一过滤网(14)固定连接，所述螺旋竖杆(9)贯穿活动螺套(20)且与活动螺套(20)螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述搅拌混合组件包括混合仓(21)、第一搅拌杆(26)和第二搅拌杆(27)，所述混合仓(21)位于研磨混料仓(1)内侧底部，所述混合仓(21)顶部外侧固定连接有连接方板(22)，所述连接方板(22)与研磨混料仓(1)固定连接，所述连接方板(22)顶部固定连接有防护板(23)。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述混合仓(21)底部表面开设有限位槽(24)，所述限位槽(24)内侧设有第二过滤网(25)，所述第二过滤网(25)与混合仓(21)固定连接，所述第一搅拌杆(26)和第二搅拌杆(27)的数量均设置为多个，多个所述第一搅拌杆(26)位于螺旋竖杆(9)底部外侧且呈圆周阵列分布，所述第二搅拌杆(27)位于第一搅拌杆(26)顶部，多个所述第二搅拌杆(27)位于螺旋竖杆(9)底部外侧且呈圆周阵列分布。

7.根据权利要求5所述的一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备装置，其特征在于：所述第一搅拌杆(26)和第二搅拌杆(27)均与螺旋竖杆(9)固定连接，所述第一搅拌杆(26)底部固定连接有活动刮杆(28)，所述活动刮杆(28)与混合仓(21)内侧滑动连接。