[发明专利]一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置

说明书

本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，其技术方案是：包括研磨混料仓，研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，研磨混料仓顶部设有电机，电机两侧均设有进料漏斗，进料漏斗底部固定连接有进料管道，进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，进料管道一侧固定连接有密封阀，研磨混料仓内侧设有研磨混合机构，一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置的有益效果是：提升了生产的钼铌合金靶材质量，降低了成本浪费，避免了现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低。

技术领域

本发明涉及钼铌合金靶材技术领域，具体涉及一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置。

背景技术

钼铌合金材料由于其优异的导电，抗氧化性能以及较低的镀膜应力，在LCD生产中作为重要的配线用靶材有广泛的应用。且随着国内外LCD液晶电视，平板电脑，手机等产业的不断发展，高性能钼铌合金需求量与日俱增。该材料在使用过程中要求合金纯度高，靶材密度高，要求相对密度大于96.0％，晶粒均匀。

现有技术存在以下不足：在实际生产中由于钼铌合金均一般属于置换固溶体合金，通常采用冷等静压和热等静压烧结制备，但是钼金属粉末和铌金属粉末固体颗粒大小相差较大，在混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，使得烧结后板材密度较低，相对密度小于95％，生产的钼铌合金靶材质量较差，生产效率较低，所以使用一般的静压制和烧结方法生产的钼铌合金难以满足溅射靶材用钼铌合金靶材的生产要求，从而造成了成本的浪费。

因此，发明一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置来解决上述问题是很有必要的。

发明内容

为此，本发明提供一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，通过设置研磨混合机构来对钼金属粉末和铌金属粉末进行研磨混合以利于对其进行冷等静压操作，以解决现有的钼金属粉末和铌金属粉末混合时无法完全混合均匀，导致钼铌金属混合粉末在冷等静压时压坯孔隙度较高，造成烧结后板材密度较低，生产的钼铌合金靶材质量较差而使得生产效率较低的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种溅射靶材用钼铌合金靶材的制备方法及装置，包括研磨混料仓，所述研磨混料仓底部两端均固定连接有支撑斜板，所述研磨混料仓顶部设有电机，所述电机两侧均设有进料漏斗，所述进料漏斗底部固定连接有进料管道，所述进料管道与研磨混料仓顶部固定连接，所述进料管道一侧固定连接有密封阀，所述研磨混料仓内侧设有研磨混合机构；

所述研磨混合机构包括研磨仓和弧形过滤网，所述研磨仓位于研磨混料仓内侧顶部，所述研磨仓顶部固定连接有环形连接板，所述研磨混料仓顶部内侧固定连接有限位滑框，所述限位滑框底部与环形连接板顶部固定连接，所述弧形过滤网位于研磨仓底部，所述研磨仓与弧形过滤网固定连接，所述弧形过滤网底部表面开设有第一贯穿孔，所述研磨仓内侧设有研磨球，所述电机输出端固定连接有螺旋竖杆，所述螺旋竖杆贯穿研磨混料仓顶部与研磨球固定连接，所述螺旋竖杆贯穿研磨球与第一贯穿孔活动套接，所述研磨仓底部设有活动筛选组件，所述研磨混料仓内侧底部设有搅拌混合组件。

优选的，所述活动筛选组件包括活动方板和限位横板，所述活动方板位于研磨仓底部，所述活动方板与研磨混料仓内侧滑动连接，所述活动方板顶部表面开设有圆形槽，所述圆形槽内侧设有第一过滤网，所述第一过滤网与活动方板固定连接，所述第一过滤网顶部外侧固定连接有环形挡板，所述限位横板的数量设置为两个，两个所述限位横板分别位于环形挡板顶部两侧。

优选的，所述限位横板底部两端均固定连接有限位弹簧，所述限位弹簧底部设有限位竖杆，所述限位竖杆顶部固定连接有环形限位板。

优选的，所述第一过滤网顶部表面开设有第二贯穿孔，所述第二贯穿孔内侧设有活动螺套，所述活动螺套与第一过滤网固定连接，所述螺旋竖杆贯穿活动螺套且与活动螺套螺纹连接。