[发明专利]晶圆输送机构及晶圆测试设备

权利要求书

1.一种晶圆输送机构，其特征在于，包括：输送基板(100)、预对位组件(200)和晶圆扫描组件(300)；

所述预对位组件(200)和所述晶圆扫描组件(300)分别安装于所述输送基板(100)。

2.根据权利要求1所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述晶圆扫描组件(300)设有让位槽(301)，所述预对位组件(200)穿过所述让位槽(301)。

3.根据权利要求1所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述预对位组件(200)包括：第一升降器件(210)、第一旋转器件(220)、吸盘(230)和拍摄器件(240)；

所述第一升降器件(210)的固定端与所述输送基板(100)连接，所述第一升降器件(210)的活动端与所述第一旋转器件(220)连接，所述第一旋转器件(220)自下而上穿过所述输送基板(100)，所述吸盘(230)安装于所述第一旋转器件(220)的转轴；

所述拍摄器件(240)安装于所述输送基板(100)，且所述拍摄器件(240)用于拍摄所述吸盘(230)吸附的晶圆。

4.根据权利要求3所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述晶圆扫描组件(300)包括：运动板件(310)、扫描光纤头(320)和伸缩驱动缸(330)；

所述运动板件(310)滑动连接于所述输送基板(100)，所述扫描光纤头(320)安装于所述运动板件(310)，所述伸缩驱动缸(330)的固定端与所述输送基板(100)连接，所述伸缩驱动缸(330)的活动端与所述运动板件(310)连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述晶圆输送机构还包括：第一晶圆移动组件(400)和第二晶圆移动组件(500)，所述第一晶圆移动组件(400)和所述第二晶圆移动组件(500)分别安装于所述输送基板(100)。

6.根据权利要求5所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述第一晶圆移动组件(400)和所述第二晶圆移动组件(500)均包括：晶圆托板(410)、滑架(420)和驱动器件(430)；

所述晶圆托板(410)与所述滑架(420)连接，所述滑架(420)滑动连接于所述输送基板(100)，所述驱动器件(430)与所述滑架(420)传动连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述晶圆输送机构还包括位置调节组件(600)，所述位置调节组件(600)与所述输送基板(100)连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述位置调节组件(600)包括第二升降器件(610)，所述第二升降器件(610)与所述输送基板(100)连接，且所述第二升降器件(610)用于驱动所述输送基板(100)升降。

9.根据权利要求7所述的晶圆输送机构，其特征在于，所述位置调节组件(600)包括第二旋转器件(620)，所述第二旋转器件(620)与所述输送基板(100)连接，且所述第二旋转器件(620)用于驱动所述输送基板(100)绕z轴旋转。

10.一种晶圆测试设备，其特征在于，包括：机架(700)、晶圆料盒(800)和权利要求1－9任一项所述的晶圆输送机构，所述晶圆输送机构和所述晶圆料盒(800)分别安装于所述机架(700)。