[发明专利]隔离阀盖装置和单晶炉

权利要求书

1.一种隔离阀盖装置，用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室，其特征在于，包括阀盖板和阀板轴，所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口，所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽，所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口，以及通过出水管路与所述第一出水口连通的第二出水口。

2.根据权利要求1所述的隔离阀盖装置，其特征在于，多个所述环形水槽同心设置，且多个所述环形水槽的中心与所述阀盖板的中心重合。

3.根据权利要求2所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述第二进水口与多个所述环形水槽中最靠近所述阀盖板中心的中心环形水槽连通，所述第二出水口与多个所述环形水槽中最远离所述阀盖板中心的边缘环形水槽连通。

4.根据权利要求1所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述进水管路和所述出水管路均为U形结构，所述U形结构的开口朝向远离所述阀盖板的一侧设置。

5.根据权利要求1所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述进水管路与所述第一进水口之间通过VCR接头连接，所述进水管路与所述第二进水口之间通过VCR接头连接，所述出水管路与所述第一出水口之间通过VCR接头连接，所述出水管路与所述第二出水口之间通过VCR接头连接。

6.根据权利要求1所述的隔离阀盖装置，其特征在于，还包括阀盖板水平度调节单元，所述阀盖板水平度调节单元包括阀盖支臂、球头、球头压盖和多个顶丝；

所述阀盖支臂的延伸方向与所述阀板轴的延伸方向相交，且所述阀盖支臂的一端连接于所述阀板轴上，所述阀盖支臂的另一端通过球头和球头压盖连接于所述阀盖板的中心；

所述球头压盖固定于所述阀盖板上，所述球头的一端位于所述球头压盖和所述阀盖板之间，且可转动的设置于所述阀盖板的锥形孔内，所述球头的另一端固定连接于所述阀盖支臂上；

所述阀盖支臂在垂直于其延伸方向的相对的两侧设置有两个连接部，所述连接部位于所述阀盖支臂与所述阀盖板连接的一端，每个所述连接部上设置有多个供所述顶丝穿过的第一安装孔，所述阀盖板上设置有与所述第一安装孔相配合的第二安装孔，松开所述顶丝，以通过所述球头的转动以调节所述阀盖的水平度，旋紧所述顶丝，以保持所述阀盖板的水平度。

7.根据权利要求6所述的隔离阀盖装置，其特征在于，多个所述顶丝均匀设置于所述球头的周围。

8.根据权利要求6所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述阀盖支臂通过连接套连接于所述阀板轴上。

9.根据权利要求8所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述连接套沿所述阀板轴的延伸方向的两端分别设置有挡圈。

10.根据权利要求9所述的隔离阀盖装置，其特征在于，所述挡圈为抱箍。

11.一种单晶炉，包括主炉室和副炉室，其特征在于，还包括权利要求1-10任一项所述的隔离阀盖装置，所述隔离阀盖装置设置于所述主炉室和所述副炉室之间。