[发明专利]隔离阀盖装置和单晶炉

说明书

本发明涉及一种隔离阀盖装置，用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室，包括阀盖板和阀板轴，所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口，所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽，所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口，以及通过出水管路与所述第一出水口连通的第二出水口。本发明还涉及一种单晶炉。

技术领域

本发明涉及硅产品制作技术领域，尤其涉及一种隔离阀盖装置和单晶炉。

背景技术

用于单晶棒生长的单晶炉一般包括主炉室、副炉室和隔离阀室，主炉室用于安装石墨加热系统和生长单晶，副炉室用于存放生长完成的单晶，而隔离阀室主要用于主炉室和副炉室的隔离，实现主炉室和副炉室的不同工作环境。隔离阀盖是安装于隔离阀室内部的阀板，可以通过阀体轴的转动实现隔离阀盖的开启和关闭，当隔离阀盖关闭后就可以实现所述主炉室和所述副炉室的不同工作环境，可根据拉晶工艺的需求打开阀体门、提升副室、取单晶棒、进行二次加料、提渣、更换籽晶等操作。由于单晶炉在工作时处于高温环境状态下，隔离阀盖关闭后就会造成隔离阀盖高温变形进而影响主炉室和副炉室的隔离效果。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种隔离阀盖装置和单晶炉，解决隔离阀盖高温变形，以影响隔离效果的问题。

为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种隔离阀盖装置，用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室，包括阀盖板和阀板轴，所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口，所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽，所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口，以及通过出水管路与所述第一出水口连通的第二出水口。

可选的，多个所述环形水槽同心设置，且多个所述环形水槽的中心与所述阀盖板的中心重合。

可选的，所述第二进水口与多个所述环形水槽中最靠近所述阀盖板中心的中心环形水槽连通，所述第二出水口与多个所述环形水槽中最远离所述阀盖板中心的边缘环形水槽连通。

可选的，所述进水管路和所述出水管路均为U形结构，所述U形结构的开口朝向远离所述阀盖板的一侧设置。

可选的，所述进水管路与所述第一进水口之间通过VCR接头连接，所述进水管路与所述第二进水口之间通过VCR接头连接，所述出水管路与所述第一出水口之间通过VCR接头连接，所述出水管路与所述第二出水口之间通过VCR接头连接。

可选的，还包括阀盖板水平度调节单元，所述阀盖板水平度调节单元包括阀盖支臂、球头、球头压盖和多个顶丝；

所述阀盖支臂的延伸方向与所述阀板轴的延伸方向相交，且所述阀盖支臂的一端连接于所述阀板轴上，所述阀盖支臂的另一端通过球头和球头压盖连接于所述阀盖板的中心；

所述球头压盖固定于所述阀盖板上，所述球头的一端位于所述球头压盖和所述阀盖板之间，且可转动的设置于所述阀盖板的锥形孔内，所述球头的另一端固定连接于所述阀盖支臂上；

所述阀盖支臂在垂直于其延伸方向的相对的两侧设置有两个连接部，所述连接部位于所述阀盖支臂与所述阀盖板连接的一端，每个所述连接部上设置有多个供所述顶丝穿过的第一安装孔，所述阀盖板上设置有与所述第一安装孔相配合的第二安装孔，松开所述顶丝，以通过所述球头的转动以调节所述阀盖的水平度，旋紧所述顶丝，以保持所述阀盖板的水平度。

可选的，多个所述顶丝均匀设置于所述球头的周围。

可选的，所述阀盖支臂通过连接套连接于所述阀板轴上。

可选的，所述连接套沿所述阀板轴的延伸方向的两端分别设置有挡圈。

可选的，所述挡圈为抱箍。

本发明还提供一种单晶炉，所述单晶炉包括主炉室和副炉室，其特征在于，还包括上述的隔离阀盖装置，所述隔离阀盖装置设置于所述主炉室和所述副炉室之间。