[发明专利]电浆清洁设备

权利要求书

1.一种电浆清洁设备，其特征在于，所述电浆清洁设备包括：

一腔体，具有腔体顶部与容置空间；

一射频电极，连接所述腔体顶部；

一载台，位于所述容置空间内，并用以承载至少一基板；

一电极，连接所述载台；及

一第一遮板，位于所述容置空间内且相邻所述腔体顶部，且所述第一遮板具有复数第一开口以形成一非平整底面。

2.根据权利要求1所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述所述第一遮板还包括复数第一封闭部，所述第一封闭部相邻所述腔体顶部且与所述第一开口彼此相对，以在所述第一遮板形成复数凹槽。

3.根据权利要求2所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述第一开口的截面积小于所述第一封闭部的截面积。

4.根据权利要求2所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述凹槽还包括第一部分与第二部分，所述第一开口位于所述第一部分，而所述第二部分相邻所述第一封闭部，其中所述第一部分的截面积小于所述第二部分的截面积。

5.根据权利要求2所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述凹槽的截面积由所述第一开口朝所述第一封闭部的方向逐渐增加。

6.根据权利要求2所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述凹槽的截面积由所述第一开口朝所述第一封闭部的方向逐渐减少。

7.根据权利要求6所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述凹槽的截面积由所述第一开口朝所述第一封闭部的方向渐缩到零，且复数所述第一开口彼此紧邻，以使所述第一遮板的纵切面的复数所述凹槽形成锯齿状。

8.根据权利要求1所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述第一遮板的所述非平整底面涂布有化学材料，以使所述非平整底面形成凹凸面，以增加所述非平整底面的表面积。

9.根据权利要求8所述的电浆清洁设备，其特征在于，其中所述化学材料为氧化钇、氧化铝或陶瓷。

10.根据权利要求1所述的电浆清洁设备，其特征在于，所述电浆清洁设备还包括还包括第二遮板，位于所述第一遮板与所述载台之间，其中所述第二遮板具有复数下开口与复数上开口，且所述下开口连通所述复数上开口，以在所述第二遮板形成复数通孔。