[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有：

盒，其具有沿上下方向配置的多个搁板；

盒载台，其载置该盒；

卡盘工作台，其通过保持面对被加工物进行保持；

搬送单元，其对收纳于该盒的被加工物进行保持并将被加工物从该盒搬送至该卡盘工作台；以及

加工单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行加工，

其中，

该加工装置还具有：

拍摄单元，其对该搬送单元所保持的被加工物进行拍摄；

中心坐标识别单元，其根据该拍摄单元进行拍摄而获取的拍摄图像来识别被加工物的中心坐标；以及

控制单元，其根据该中心坐标识别单元所识别的该中心坐标而控制该搬送单元，按照使该搬送单元所保持的被加工物的中心与该卡盘工作台的该保持面的中心一致的方式将被加工物保持于该保持面上。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

该搬送单元具有：

机器人，其安装有对收纳于该盒的被加工物进行保持的机器人手臂；以及

搬入机构，其接受该机器人手臂所保持的被加工物并搬入至该卡盘工作台的该保持面上，

该拍摄单元对该机器人手臂所保持的被加工物进行拍摄，

该控制单元根据该中心坐标识别单元所识别的该中心坐标而通过该搬入机构将被加工物按照使该保持面的中心与被加工物的中心一致的方式保持于该保持面上。

3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

被加工物具有作为表示晶体取向的标记的切口或定向平面，

该保持面具有转印被加工物而得的形状，并具有与该标记对应的标记对应部，

该加工装置还具有：

标记识别单元，其根据该拍摄单元进行拍摄而得到的该拍摄图像来识别该标记的位置；

旋转单元，其使该卡盘工作台以该保持面的中心为轴而旋转；以及

标记对位控制单元，其控制该旋转单元以便使该保持面的该标记对应部与该搬送单元所保持的被加工物的该标记一致。